智慧財產法院104年度行專訴字第96號判決

裁判字號：智慧財產法院104年行專訴字第96號判決

裁判日期：民國105年08月31日

裁判案由：發明專利舉發

智慧財產法院行政判決
104年度行專訴字第96號原告 許雅婷 訴訟代理人 楊啟元 律師被告經濟部智慧財產局代表人 洪淑敏 （局長）訴訟代理人 莊榮昌
參加人美國安堤格里斯公司ENTEGRIS,INC.代表人PeterWalcott訴訟代理人 張哲倫 律師
陳初梅 律師 陳佳菁 律師複代理人 吳俐瑩 律師上列當事人間因發明專利舉發事件，原告不服經濟部中華民國10
4年9月8日經訴字第10406313490號訴願決定，並經本院命參加人獨立參加本件被告之訴訟，本院判決如下：
主文原告之訴駁回。
訴訟費用由原告負擔。
理由
甲、程序方面：本件參加人之代表人原為PeterWalcott，嗣變更為SueLee，經參加人於民國（下同）105年7月19日具狀聲明承受訴訟（見本院卷三第699頁）。被告代表人原為 王美花 ，於105年7月1日卸任並由洪淑敏代理局長， 嗣洪淑敏 於同年8月
11日派任局長，經其於同年8月10日、8月25日具狀聲明承受訴訟（本院卷三第785-787頁、870-873頁），經核並無不合，應予准許。
乙、實體方面：
壹、事實概要：參加人前於民國（下同）92年7月3日以「標線載具」向被告申請發明專利，申請專利範圍計20項，同時以美國西元2002年7月5日申請號10/190,347號專利案主張優先權。經被告編為第00000000號審查，參加人嗣將專利名稱修正為「光罩載具及支撐光罩之方法」，經被告審查後，於98年8月21日准予專利，並發給發明第I317967號專利證書（下稱系爭專利）。嗣原告以系爭專利有違核准時專利法第
22條第4項、第26條第3項及第4項之規定，對之提起舉發。參加人旋於103年5月16日提出系爭專利申請專利範圍更正本。案經被告審查，准予更正，並依該更正本審查，認系爭專利未違反核准時上開專利法規定，以104年3月16日
(104)智專三㈡04024字第10420330780號專利舉發審定書為「103年5月16日之更正事項，准予更正。請求項1至20舉發不成立」之處分。原告不服，提起訴願，經濟部嗣以10
4年9月8日經訴字第10406313490號訴願決定書作成訴願駁回之決定，原告仍未甘服，遂向本院提起行政訴訟，聲明原處分與訴願決定均撤銷，被告應為請求項1至20舉發成立應予撤銷之處分。本院因認本件訴訟之結果，倘認訴願決定及原處分應予撤銷，參加人之權利或法律上利益將受損害，乃依行政訴訟法第42條第1項、第3項規定，依職權裁定命其獨立參加本件被告之訴訟。
貳、原告主張：
一、請求項1、4至6、10至12、17至18未受說明書及圖式所支持，違反核准時專利法第26條第3項規定：
㈠請求項1、4至6、10至12、17至18因包含「該斜角邊緣部
之方向係可橫向滑動迫使該光罩與該光罩限制器嚙合」或「該光罩定位凸片適用於橫向滑動迫使該光罩與該光罩限制器嚙合」之技術特徵而未受說明書及圖式所支持：
⑴系爭專利第9頁第22行載明：「當蓋部140如圖7與8所示向
下移動時，隅角210沿斜角引導邊緣152滑動，使得光罩
200被推向後部定位凸片128」。系爭專利圖式中亦以系爭圖6至9說明斜角邊緣部152隨蓋部而向下滑動。將圖
6至圖9排列對齊，可明顯看出斜角邊緣部152隨著蓋部
140而向下滑動。圖7、圖8中更明確以箭頭標示出斜角邊緣部152滑動之方向為向下，而非橫向滑動。因此，系爭專利說明書及圖示所能支持之技術特徵係「當該蓋部與該基部配合時，該斜角邊緣部之方向係可向下滑動迫使該光罩(橫向滑動)與該光罩限制器嚙合」。
⑵請求項1所界定的「當該蓋部與該基部配合時，該斜角邊
緣部之方向係可橫向滑動迫使該光罩(橫向滑動)與該光罩限制器嚙合，該光罩定位凸片係被定位成與該光罩之光罩中間相鄰隅角嚙合」卻與前開說明書及圖式可支持之技術特徵完全相反。質言之，說明書及圖式可支持的「該斜角邊緣部之方向係可向下滑動」與請求項1所界定的「該斜角邊緣部之方向係可橫向滑動」無法相容，因此，請求項1所界定的「該斜角邊緣部之方向係可橫向滑動迫使該光罩與該光罩限制器嚙合」之技術特徵，顯然未為系爭專利說明書及圖式所支持，違反系爭專利審定時專利法第26條第3項規定。
⑶請求項4、5因依附請求項1而包含有相同瑕疵，亦違反
系爭專利審定時專利法第26條第3項規定。同理，系爭請求項6及12中所界定之「該光罩定位凸片適用於橫向滑動迫使該光罩與該光罩限制器嚙合」之技術特徵，亦未為發明說明及圖式所支持，請求項10、11因依附請求項6，請求項17、18因依附請求項12而有相同瑕疵，均違反系爭專利審定時專利法第26條第3項規定。請求項19無相同瑕疵，原告撤回此部分之主張（見原告105年8月1日辯論意旨狀第4頁，本院卷三第745頁）。
㈡請求項1、4至6、10至12、17至19包含「該光罩支架被定
位且適於接觸及支撐光罩之下表面」或「光罩之下表面置於光罩支架上，且沒有其他光罩部分與光罩支架接觸」之技術特徵，未受說明書及圖式所支持：
發明說明指出嚙合在光罩表面可能導致光罩刮傷或損壞，請求項1、6、12卻皆界定「該光罩支架被定位且適於接觸及支撐光罩之下表面」之要件、請求項19則界定「光罩之下表面置於光罩支架上，且沒有其他光罩部分與光罩支架接觸」，皆導致光罩支架必定嚙合在光罩表面，造成請求項1、6、12、19所界定之技術特徵與系爭專利發明說明之教示明顯相矛盾。因此，請求項1、6、12、19之技術特徵皆未為發明說明及圖式所支持，違反系爭專利審定時專利法第26條第3項規定。請求項4、5依附於請求項1，請求項10、11依附於請求項6，請求項17、18依附於請求項12，均違反系爭專利審定時專利法第26條第3項規定。
㈢請求項1、4至6、10至12、17至19「有斜角邊緣部（光罩
定位凸片）卻無彈性臂」之技術特徵，未受說明書及圖式所支持：
說明書及圖式僅揭露同時具備「固定元件」和「彈性元件」之技術，所屬技術領域中具有通常知識者亦認為必須同時具備「固定元件」和「彈性元件」共同達成此功效作用之技術才可能符合光罩載具之基本功能，故發明說明與圖式無法支持僅有作為「固定元件」的「定位凸片」卻不具備作為「彈性元件」的「彈性臂」之請求項。然而，請求項1、4-6、10-12、17-19卻僅有作為「固定元件」的「定位凸片」，而不具備作為「彈性元件」的「彈性臂」。因此，請求項1、4-6、10-12、17-19未為發明說明及圖式所支持，違反系爭專利審定時專利法第26條第3項規定。
㈣請求項1、4至6、10至12、17至19包含既固持又可滑動的
「嚙合」技術特徵，未受說明書及圖式所支持：依系爭專利說明書第9頁第19-23行，及系爭專利說明書第5頁最後1行至第6頁第1行記載，在「斜角引導邊緣152嚙合隅角21
0」的狀態下，可理解為光罩定位凸片與光罩間不會有相對位移。然而，系爭專利說明書中的「斜角引導邊緣152…嚙合…隅角210」與「隅角210沿斜角引導邊緣152滑動」互不相容。斜角引導邊緣152既已嚙合隅角210，即無隅角21
0沿斜角引導邊緣152滑動之理。系爭專利所屬技術領域中具有通常知識者，無法瞭解系爭專利發明說明所指「既嚙合(固持而不相對位移)又滑動」之意義，亦無法據以實施。
因此，說明書自亦無法支持請求項1、4至6、10至12、17至19中「既固持又滑動」之「嚙合」要件。
㈤請求項6、10至12、17至19包含「光罩定位凸片」但無「斜角邊緣」，未受說明書及圖式所支持：
除「斜角邊緣」之外，系爭專利並未揭露任何將光罩推至適當位置的其他技術手段。該發明所屬技術領域中具有通常知識者無法從發明說明所揭露的內容直接得到或總括得到斜角邊緣以外的任何其他技術手段。請求項6、12、19，均僅以功能界定「光罩定位凸片」或「凸片」，但未界定其具體構造，在缺乏具體結構「斜角邊緣」之下，所屬技術領域具有通常知識者，參酌申請時的通常知識，無法瞭解「適用於橫向滑動迫使該光罩與該光罩限制器嚙合」之功能界定所涵蓋之範圍，故請求項6、12、19未受發明說明及圖式所支持，違反審定時專利法第26條第3項規定。請求項10、11依附於請求項6，請求項17、18依附於請求項12，因此亦皆未為發明說明及圖式所支持，違反系爭專利審定時專利法第26條第
3項規定。
二、請求項1、6、12、19未載明實施之必要技術特徵，違反核准時專利法第26條第4項授權專利法施行細則第18條第2項規定：
㈠請求項1、6、12、19未載明「解決『光罩支架接觸及支撐
光罩之下表面』時容易刮傷光罩之問題」之必要技術特徵，因而造成請求項1、6、12、19之光罩支架必然嚙合於光罩表面，導致光罩遭破壞的風險過高，而使請求項1、6、12、19之發明無法實施。
㈡請求項1、6、12、19未載明「彈性臂」之必要技術特徵，請
求項1、6、12、19卻僅有「固定元件」而無「彈性元件」，導致請求項1、6、12、19因不符合光罩載具「必須能穩固地固持光罩以減少光罩之振動及位移」之基本功能而無法實施。
㈢請求項1、6、12、19未載明「兼顧『允許放置光罩誤差』及
『放置誤差能被修正』」之必要技術特徵。在光罩需要精確定位的關鍵方向上，請求項1、6、12、19皆未包括藉以「兼顧『(1)可允許人為及機器所造成放置光罩之誤差』及『(2)該放置誤差能被修正，並可為了下一次使用光罩之目的，而在光罩載具關閉時準確地重新定位光罩在載具內的位置』」之技術特徵，導致請求項1、6、12、19無法符合參加人所主張之「光罩載具之基本功能」，因此無法實施。
㈣請求項6、12、19未載明「斜角邊緣」之必要技術特徵。理
由詳如系爭專利違反核准時專利法第26條第3項規定之主張。
三、證據2或證據2結合證據3分別皆足證請求項1、3至7、9至13、17至19不具進步性：
㈠證據2足證請求項1不具進步性：
證據2已揭露請求項1之全部要件技術特徵。證據2完全符合參加人於另案民事訴訟中主張系爭專利發明之三大重點及相同之作用功效(原證1第36頁參照)：參加人即專利權人於原證5第3頁「5-2)引用文獻之內容」段落中，亦承認美國專利第0000000號說明書(即證據2)確曾承認證據2業已揭露請求項1全部技術特徵之事實，故證據2足證請求項1不具進步性。
㈡證據2結合原證3足證請求項1不具進步性：
原證3第二A圖亦已完全揭露光罩支架(26+25)被定位且適於接觸及支撐於光罩27下表面之技術特徵。證據2與原證3與系爭專利皆屬相同技術領域。證據2結合原證3足證請求項1欠缺進步性。
㈢證據2或證據2結合證據3分別皆足證請求項3至7、9至
13、17至19不具進步性：理由詳如105年8月1日辯論意旨狀第19-29頁所載。
四、證據2結合證據6或證據2結合原證3和證據6分別皆足證請求項2、8、14至16、20不具進步性：
㈠證據2結合證據6或證據2結合原證3和證據6分別皆足證請求項2不具進步性：
⑴請求項2依附於請求項1，所增加之技術特徵為：「各該光
罩限制器包含一對配置成直角之彈力臂，各彈力臂具有一光罩嚙合部，用於嚙合光罩之一上邊緣」。證據6的光罩限制器包含兩對配置成直角之彈力臂，各彈力臂具有一光罩嚙合部，用於嚙合光罩之一上邊緣的角落，因此，證據
6已完全揭露請求項2所增加之技術特徵。證據2以光罩保持器114之懸桁部份146壓制光罩，證據6為解決同一問題而揭露蓋部2備有光罩保持件4之技術。證據6相當於系爭專利之光罩限制器的部分，皆用於壓制及嚙合光罩，且皆用以解決光罩定位的問題。將證據2之光罩限制器置換為具有相同功能的證據6之光罩限制器，僅是以先前技術中具有相同功能之手段予以等效置換，而未產生無法預期的功效，應認定該發明能輕易完成。證據2或證據2結合原證3，分別皆足證請求項2所依附之請求項1不具進步性，請求項2所增加之技術特徵又已為證據6所完全揭露，故證據2結合證據6、或證據2結合原證3和證據
6，分別皆足證請求項2不具進步性。⑵證據2結合證據6或證據2結合原證3和證據6分別皆足
證請求項8、14至16、20不具進步性：理由詳如105年8月1日辯論意旨狀第31-34頁所載。
五、並聲明：㈠原處分關於舉發不成立之部分及訴願決定均撤銷。㈡被告應就I317967號「光罩載具及支撐光罩之方法」發明專利為請求項1至20舉發成立應予撤銷之處分。㈢訴訟費用由被告負擔。
參、被告答辯：
一、被告之舉發審定書理由（六）已說明「系爭專利已更正申請專利範圍如前所述，而系爭專利利用之光罩定位凸片150，當蓋部140與基部120配合時，光罩定位凸片150可橫向滑動迫使光罩200與光罩限制器142嚙合，故已包含系爭專利所欲解決問題之必要技術特徵，至於舉發理由所稱之「彈力臂、光罩嚙合部」並非專利權人所認定之發明必要技術特徵」，被告已有審查請求項1是否違反專利法第26條第3項之規定。被告舉發審定理由(四).5中「請求項6、12、19及請求項4、5、10、11、17、18有違專利法第26條第3項之規定」係為誤繕，該段漏列「請求項1」，惟在被告舉發審定書中已有實質審查，該誤繕之處並無影響審查結果。系爭專利說明書第8、9、10頁及第2至9圖已描述光罩與斜角邊緣、光罩支架、光罩定位凸片之定位關係，故對於所屬技術領域中具有通常知識者應能夠瞭解其內容並據以實施，且系爭專利請求項所載之內容可為說明書或圖式支持，未違反核准時專利法第26條第3、4項之規定。
二、系爭專利請求項1所述之蓋部140內表面141上突設有複數個相間隔之光罩限制器142及一對光罩定位凸片150，各該光罩定位凸片150具有一斜角邊緣部152，當該蓋部140與該基部120配合時，該斜角邊緣部152之方向係可橫向滑動迫使該光罩200與該光罩限制器142嚙合，該光罩定位凸片
150係被定位成與該光罩200之光罩中間相鄰隅角嚙合，而證據2僅揭露一對主光罩保持器114固定於外殼102上，主光罩保持器114包括一懸桁部份146，懸桁部份146具有一斜面凹面148，證據2並未揭示系爭專利之光罩限制器142，且證據2之主光罩127放置於門104上時，係利用主光罩支撐件112的支柱126具有斜面凹面128藉由斜面與主光罩
127邊緣相接觸後定位，主光罩127並非利用外殼102被闔上時產生的動作所固定，而系爭專利利用蓋部140與基部
120配合時，光罩定位凸片150的斜角邊緣部152之方向係可橫向滑動迫使光罩200與光罩限制器142嚙合，二者的技術內容並不相同，故在證據2並未揭露請求項1之技術特徵的情況下，對於所屬技術領域中具有通常知識者並非能由證據2的內容而輕易完成系爭專利之技術特徵，證據2不足以證明系爭專利請求項1不具進步性。
三、原證3為新證據，係揭露一種保護光罩之光罩盒，底座20承載光罩27而頂蓋21用來遮蔽光罩27，多數個導電支架26用來支撐光罩27，使得光罩27不會直接接觸到底座20與頂蓋21，多數個固定架22用以固定光罩27在光罩盒中的位置，每一個導電支架26之頂部設滾輪25與光罩27接觸，每一條導線24的第一端連接到一個導電支架26，而其第二端則是連接到電位零點23，防止光罩27受到外界電場與電荷的影響。原證3與系爭專利請求項1比較，二者之結構及技術內容並不相同，原證3仍未揭露系爭專利之光罩限制器142，且系爭專利利用蓋部140與基部120配合時，光罩定位凸片150的斜角邊緣部152之方向係可橫向滑動迫使光罩200與光罩限制器14
2嚙合亦未為原證3所揭露。又如前答辦理由二所述，系爭專利於請求項1所述之內容並未為證據2及原證3所揭露，在證據2及原證3並未揭露請求項1之技術特徵的情況下，亦未有任何教示可將證據2及原證3之技術內容加以組合後而可完成系爭專利請求項1所述之技術內容，故對於所屬技術領域中具有通常知識者並非能由證據2及原證3的內容而輕易完成系爭專利之技術特徵，證據2及原證3之組合不足以證明系爭專利請求項1不具進步性。
四、系爭專利請求項2直接依附於請求項1，該附屬項為請求項
1之進一步限縮，且包含請求項1之所有技術特徵。系爭專利請求項1與證據2、原證3之比較已如前所述，另證據6並未揭露系爭專利請求項1所述之蓋部140內表面141上突設有複數個相間隔之光罩限制器142及一對光罩定位凸片15
0，各該光罩定位凸片150具有一斜角邊緣部152，當該蓋部140與該基部120配合時，該斜角邊緣部152之方向係可橫向滑動迫使該光罩200與該光罩限制器142嚙合，該光罩定位凸片150係被定位成與該光罩200之光罩中間相鄰隅角嚙合，證據6僅揭露光罩盒之下元件1及上元件2嚙合時，藉由光罩保持元件4彈性按壓光罩3，證據6並未揭露系爭專利利用蓋部140與基部120配合時，光罩定位凸片150的斜角邊緣部152之方向係可橫向滑動迫使光罩200與光罩限制器142嚙合，二者的技術內容並不相同，故系爭專利於請求項1所述之內容並未為證據2、原證3、證據6所揭露，亦未有任何教示可將證據2、6、或將證據2、6及原證3之技術內容加以組合後而可完成系爭專利請求項1所述之技術內容，而請求項2為依附於請求項1，故證據2、6之組合、或證據2、6及原證3之組合不足以證明系爭專利請求項2不具進步性。
五、證據2、或證據2及原證3之組合無法證明系爭專利請求項
1不具進步性已如前述，舉發理由已認為請求項6、12、19所載之內容近似於獨立請求項1，故證據2、或證據2及原證3之組合亦無法證明系爭專利請求項6、12、19不具進步性。另系爭專利請求項3-5、7、9-11、13、17、18均直接或間接依附於請求項1、6、12，該附屬項為請求項1、6、12之進一步限縮，且包含請求項1、6、12之所有技術特徵，故證據2、或證據2及原證3之組合亦無法證明系爭專利請求項3-5、7、9-11、13、17、18不具進步性。又系爭專利請求項8、14-16、20均直接或間接依附於請求項6、
12、19，如前所述，證據2、6之組合、或證據2、6及原證3之組合亦不足以證明系爭專利請求項8、14-16、20不具進步性。
六、並聲明：原告之訴駁回。
肆、參加人陳述：
一、系爭專利並無違反專利法第26條第3項（請求項記載明確、簡潔、受支持）及第26條第4項（請求項包括必要技術特徵）之情事：
㈠系爭專利並無原告所主張「光罩支架接觸及支撐光罩之下表面」違反核准時專利法第26條第3項、第4項之情事：
⑴針對「光罩支架接觸及支撐光罩之下表面」部分：
由系爭專利之說明可知系爭專利之載具對於光罩提供「自我定位」，能將光罩支架上之光罩移動至正確位置，使載具蓋部與基部配合時，蓋部的光罩限制器不會壓傷光罩。
正如系爭專利於第6至7頁所說明：「當光罩進一步向下移動以嚙合基部時，光罩被自我定位凸片之斜角邊緣推至適當位置。」而系爭專利請求項1之技術特徵已提供此一改良之特徵。因此，技藝人士自能瞭解「避免（由蓋部之光罩限制元件等）導致光罩產生刮傷或其他物理損壞」可藉由系爭專利請求項1、6、12、19中關於設於蓋部之光罩定位凸片迫使光罩橫向滑動至定位之技術特徵而達成，系爭專利請求項並無不受說明書支持或欠缺必要技術特徵之問題。
⑵針對系爭專利請求項是否欠缺「四點支撐光罩及支撐光罩『qualityarea』以外之區域」之必要技術特徵：
光罩下表面具有用於曝光製程之「qualityarea」的線路圖案區域，避免光罩支撐部接觸光罩之「qualityarea而破壞「qualityarea」，是系爭專利之發明技術領域（光罩載具）之人士必須做到的一種基本技術上的要求。熟知本領域技術之人士，當然應知光罩下表面的此區域不可隨意碰觸，更應知道光罩下表面可為光罩支架接觸及支撐之區域本已受到業界標準所規範，且其與系爭專利定位光罩之技術無甚關聯，本即無須於專利說明書中贅言，亦無須特別界定於申請專利範圍中，第三人（家登精密工業股份有限公司）的多篇專利說明書（I329328、I429570、I224719、I247974）（參證9-12號）及甚多其他同業的專利說明書等，對於光罩的何區域可受支撐亦均未多加說明，甚至原告提出之關於光罩支架之「原證3號」專利說明書，對於其關鍵技術之「光罩支架/滾輪」不得支撐於光罩之何區域亦未見任何說明，而這些專利申請案均仍獲准專利，足證系爭專利請求項未記載關於光罩下表面受光罩支架接觸與支撐之可行區域，並無欠缺必要技術特徵。
㈡系爭專利並無原告所主張「有斜角邊緣部（光罩定位凸片）
卻無彈性臂」違反核准時專利法第26條第3項、第4項之情事：
原告主張之原證1號（參加人於相關民事訴訟中104年11月2日提出之輔佐人簡報），與本件舉發無關，亦非系爭專利之內容，更非公開之先前技術或公開之通常知識，原證1號是否得採為證明系爭專利違反專利法第26條之適格證據一節，尚有待查明。又上開民事事件中參加人之輔佐人係解釋系爭專利開發當時所依據之一般機械設計原理而陳述，即系爭專利已經以光罩定位凸片將光罩推動到所欲之位置（必要技術特徵），但是光罩不免於因搬運或其他因素受到振動而可能從該定位上移開，因此較佳需要一個定位完成後的一種固持裝置（輔助定位之技術特徵）。系爭專利請求項並不需要「彈力臂」或「彈性臂」作為「推動以橫向定位光罩」之必要技術特徵。又，一旦光罩被移動至定位，光罩定位凸片之垂直邊緣部亦可發揮繼續保持光罩於定位之效果（見系爭專利圖9所示以及說明書第9頁最末行至第10頁之相關敘述），本發明最重要者仍然是利用蓋部特殊之結構設計與基部配合，將位在基部之光罩支架上之光罩橫向推動至定位；一旦光罩到達定位，可採用任何適合之技術方法（如彈性臂或其他適當結構）進一步維持光罩在該定位。有關「彈性（彈力）臂」之特徵係系爭專利附屬項特徵，足見系爭專利於撰寫時亦無意將彈力臂當作解決技術問題之必要技術特徵。何況，系爭專利實已揭露「利用光罩定位凸片推動光罩橫向滑移使其定位於基座上」之技術；故系爭專利無違反核准時專利法第26條第3項與第4項。
㈢系爭專利並無原告所主張「既固持又可滑動的『嚙合』」違反核准時專利法第26條第3項不受說明書之支持之情事：
系爭專利中文說明書中被翻譯成「嚙合」之詞，在原本的外文說明書中為「engagement」或「engage」，engage一字，意義雖然甚廣，包括：在某事上耗用精力與時間、如齒輪等物品彼此嚙合、接合、交戰…等，但並無任何「如牙齒緊緊咬合(bite)」之意。顯然，系爭專利中所稱之「嚙合」絕非「如牙齒緊緊咬合(bite)」之意，而是一種接觸、配合之意。根據系爭專利之圖6至9及相關說明，已清楚揭露斜角引導邊緣152與隅角210之間一開始的「接觸（嚙合）」、過程中的「相對滑動」、最後的定位狀態的「嚙合」等種種相互動作之關係，並無任何矛盾或者不可能性。系爭專利所屬技術領域之通常知識者可輕易從系爭專利之發明說明及圖式所揭示者得知系爭專利請求項之技術內容，並無原告所稱之請求項不受支持之問題。
㈣系爭專利並無原告所主張「光罩定位凸片（但無斜角邊緣）
」違反核准時專利法第26條第3項、第4項之情事，且原告主張「光罩定位凸片應以手段功能用語解讀」無理由：
系爭專利請求項6、12、19之「光罩定位凸片」並未符合專利審查基準之記載形式，故非手段功能用語。退萬步言，縱如原告所言，「斜角邊緣」真的是達成該「光罩定位凸片」手段功能用語所述功能之必要技術手段（結構），則光罩定位凸片於解讀時就應該包括「斜角邊緣」，於此情形根本不可能發生原告所稱欠缺必要技術特徵「斜角邊緣」之情形。
再者，使用斜角邊緣部152與光罩隅角210之配合是諸多可實現定位凸片推動光罩之實施例之一，而並非唯一；系爭專利所屬技術領域之通常知識者可輕易將斜角邊緣部修改成其他樣式，如圓滑凸部或其他特殊形狀之斜面、具有凸輪(cam)作用之表面等。系爭專利之美國、韓國對應案，均未認為斜角邊緣部為必要技術特徵，而准予專利，參加人在美國基於系爭專利美國對應案US6,825,916之內容所申請之接續案US7,139,066（參證15號），於請求項中進一步將「slopingsurface」、「camsurface」等用以推動以定位光罩的可能之形狀申請專利，且亦獲核准，足見美國專利局認為根據系爭專利說明書與圖式，本領域具有通常知識之技藝人士能合理推導得出多種「光罩定位凸片」之形狀。足認「斜角邊緣部」並非系爭專利請求項6、9、10、12、17之必要技術特徵，故系爭專利無違專利法第26條第3項、第4項。
㈤系爭專利並無原告所主張「請求項中『該斜角邊緣部之方向
係可橫向滑動』」之記載違反核准時專利法第26條第3項、第4項之情事：
按解釋申請專利範圍時，應以請求項所載之整體內容為依據，不得僅擷取片段文字，藉以曲解專利技術之真意。依系爭專利請求項第1、6、12項及說明書及圖式之整體內容可知，系爭專利請求項第1、6、12項中所述「橫向滑動」以達到定位者係「光罩」，而非如原告所主張之「光罩定位凸片」或「斜角邊緣部」本身。另查，與系爭專利相關之本院於104年度民專訴字第36號民事事件，本院於105年2月25日所作出之申請專利範圍解釋，已確認系爭專利之申請專利範圍第1項中所述之「橫向滑動」之主體係「光罩」，而非如原告所稱之係「光罩定位凸片（斜角邊緣部）自身橫向滑動」，本院解釋符合系爭專利說明書與圖式所揭露之「以光罩定位凸片推動光罩使光罩橫向滑動」之情形，因此，系爭專利請求項第1、6、12並無違反核准審定時專利法第26條第3項、第4項規定。
㈥系爭專利並無原告所主張「無法兼顧『允許放置光罩誤差』
及『放置誤差能被修正』」而違反核准審定時專利法第26條第4項之情事：
系爭專利說明書第6頁最後一段及其後之實施例，已經揭露足以使光罩載具兼顧「可允許人為及機械所造成放置光罩之誤差」與「該放置誤差能被修正」之目的之必要技術手段，且獨立請求項1、6、12、19均已包含「自蓋部內表面突出之光罩定位凸片」用以「推動光罩橫向滑動」到基座上之定位之特徵。因此，在每一次光罩載具關閉時都能準確地重新定位光罩在載具內的位置，便利下次使用時機械手臂可準確取用光罩，故請求項已包含必要技術特徵，並無違反核准審定時專利法第26條第4項規定。
二、系爭專利相較於各先前技術或其組合具有進步性：㈠系爭專利請求項1、3至7、9至13及17至19相較於證據2具有進步性：
證據2之內容無關於系爭專利之發明，證據2仍是傳統光罩載具之技術，特點在於當光罩一被放到光罩支架112上時，就使其快速、準確地下落到基座之定位。換言之，在證據2中，當光罩置放在基部上時，必須初期就放到光罩支撐件11
2之四個角隅128所決定之固定位置，其僅允許極少量的光罩偏移，該偏移係藉由光罩支撐件112之角隅128之斜面來進行調整，而非由蓋部與基部配合時的動作所控制。如此，光罩之定位校正係利用角隅128之斜面使光罩轉動而調整，而並非將光罩橫向滑移而調整。故系爭專利請求項1、3至
7、9至13及17至19之技術特徵並未被證據2所揭露或教示，證據2不足證明系爭專利請求項1、3至7、9至13及17至19之不具有進步性。
㈡系爭專利請求項1、3至7、9至13及17至19相較於證據2結合原證3具進步性：
證據2並未教示或建議系爭專利任何以光罩定位凸片橫向滑動定位光罩之技術特徵。原告雖主張原證3之第二A圖揭露支架26與滾輪25接觸及支撐光罩27之下表面，但原證3並未揭露其頂蓋具有任何構件可在頂蓋與底座配合時迫使光罩橫向移動至一適當定位。因此，原證3並未對系爭專利以光罩定位凸片橫向滑動定位光罩之技術特徵提供任何的揭露或教示。證據2結合原證3亦不足證明系爭專利請求項1、3-7、9-13及17-19具進步性。
㈢系爭專利請求項2、8、14至16、20相較於「舉發證據2結
合舉發證據6」或「舉發證據2結合原證3和舉發證據6」具有進步性：
證據6是一種可抽取光罩的卡匣式載具，故其採用「彈性壓制」光罩的方式，利用蓋部的光罩保持件4，朝向基部1彈性壓制光罩，並非是以蓋部之任何結構橫向推動光罩到達一定位而與光罩限制器嚙合。證據6並未保留光罩在基部上橫向滑動之自由度，顯然不具有任何以光罩定位凸片橫向滑動定位光罩之技術特徵，故即使將證據2結合證據6，或證據
2結合原證3及證據6，仍不足以證明系爭專利請求項2、
8、14-16、20不具進步性。
三、綜上所述，系爭專利符合核准時專利法第26條第3項、第4項、專利法施行細則第18條第2項及核准時專利法第22條第
4項之規定。
四、並聲明：原告之訴駁回。
伍、本件之爭點（見本院卷二第283頁）：
一、請求項1，4至6，10至12，17至19，是否違反核准審定時專利法第26條第3項規定？
二、請求項1、6、12、19，是否違反核准審定時專利法第26條第4項、施行細則第18條第2項之規定？
三、請求項1、3至7、9至13、17至19，是否違反核准審定時專利法第22條第4項之規定？㈠證據2是否可證明請求項1、3至7、9至13、17至19，不
具進步性？㈡證據2、原證3之組合，是否可證明請求項1、3至7、9
至13、17至19，不具進步性？
四、請求項2、8、14至16、20，是否違反核准審定時專利法第22條第4項之規定？㈠證據2、證據6之組合，是否可證明請求項2、8、14至16
、20不具進步性？㈡證據2、原證3、證據6之組合，是否可證明請求項2、8
、14至16、20不具進步性？
陸、得心證之理由：
一、本件應適用之專利法：系爭專利申請日為92年7月3日，核准審定日為98年8月21日，其是否有應撤銷專利權之情事，自應以核准審定時所適用之92年2月6日修正公布，93年7月1日施行之專利法（下稱92年專利法）為斷。
二、本院得審酌新證據：按關於撤銷、廢止商標註冊或撤銷專利權之行政訴訟中，當事人於言詞辯論終結前，就同一撤銷或廢止理由提出之新證據，智慧財產法院仍應審酌之，智慧財產專責機關就前項新證據應提出答辯書狀，表明他造關於該證據之主張有無理由，智慧財產案件審理法第33條第1、2項定有明文。本件原告於原處分階段提出證據2、4、5、6、8等為舉發證據，主張系爭專利請求項1至20不具進步性，及系爭專利請求項
1、6、12、19有違專利法第26條第4項之規定，請求項6、12、19及請求項4、5、10、11、17、18有違專利法第26條第3項之規定，嗣於行政訴訟階段，原告除仍主張舉發階段之證據2、證據6外，另追加原證3，並主張原證3與證據2，或與證據2、證據6之組合，可證明系爭專利不具進步性，關於系爭專利有違92年專利法第26條第3項、第4項規定之事由，原告主張依105年5月24日庭呈簡報第12頁所載，其餘舉發階段所提證據及主張，均不再主張等語（見
105年5月24日準備程序筆錄，本院卷二第281頁），核原告所提之上開新證據及主張，係就同一撤銷理由（即系爭專利是否違反核准審定時專利法第26條第3、4項規定，及請求項1至20是否具有進步性）所提之新證據，並經被告、參加人就該新證據提出答辯，依智慧財產案件審理法第33條第
1項規定，本院就上開新證據應併予審究。
三、系爭專利技術分析：㈠系爭專利技術內容：
系爭專利係為關於一種光罩載具，使用於光微影半導體製程，具有一基部與一蓋部。基部具有複數個光罩支架及複數個光罩定位部件。蓋部係用於緊密配合基部，並具有一內表面，其向內突設有複數個相間隔之光罩限制器及一對光罩定位凸片，各光罩定位凸片具有一斜角邊緣部，當蓋部與基部配合時，可使斜角邊緣部迫使光罩支架上之一光罩與光罩限制器嚙合。(摘錄自系爭專利摘要)㈡系爭專利主要圖式如附圖一所示。
㈢系爭專利申請專利範圍分析：
依據103年5月16日申請更正、104年4月11日公告之版本，系爭專利請求項共計20項，其中第1、6、12、19項為獨立項，餘為附屬項。
1.一種光罩載具，用於承載光微影半導體製程中所使用的光罩，該光罩通常係平面的，具有相對的上表面及下表面以及四個隅角，該載具包括：一基部，具有至少一對相間隔的光罩支架，當光罩置於光罩支架上時，該光罩支架被定位且適於接觸及支撐光罩之下表面，該光罩係可在其上橫向滑動；及一蓋部，用於緊密配合該基部，該蓋部具有一內表面，其上突設有複數個相間隔之光罩限制器及一對光罩定位凸片，各該光罩定位凸片具有一斜角邊緣部，當該蓋部與該基部配合時，該斜角邊緣部之方向係可橫向滑動迫使該光罩與該光罩限制器嚙合，該光罩定位凸片係被定位成與該光罩之光罩中間相鄰隅角嚙合。
2.如申請專利範圍第1項之光罩載具，其中，各該光罩限制器包含一對配置成直角之彈力臂，各彈力臂具有一光罩嚙合部，用於嚙合光罩之一上邊緣。
3.如申請專利範圍第1項之光罩載具，其又包含至少一閂鎖機構，用於將該蓋部鎖固至該基部。
4.如申請專利範圍第1項之光罩載具，其中，各該光罩支架包含一自該基部向上突出的肋條。
5.如申請專利範圍第4項之光罩載具，其中，該肋條呈現一具有一對相間隔的光罩嚙合部之上邊緣。
6.一種光罩載具，用於承載光微影半導體製程中所使用的通常為平面的光罩，包括：一基部，具有複數個光罩支架，當光罩置於光罩支架上時，該光罩支架適於接觸及支撐光罩之下表面；及一蓋部，用於緊密配合該基部，該蓋部具有一內表面、複數個光罩限制器及至少一自該內表面突出之光罩定位凸片，當該蓋部與該基部配合時，該光罩定位凸片適用於橫向滑動迫使該光罩與該光罩限制器嚙合。
7.如申請專利範圍第6項之光罩載具，其中，該光罩定位凸片具有一斜角邊緣部，當該蓋部與該基部配合時，該斜角邊緣部之方向係可與該光罩支架上之一光罩的上邊緣嚙合。
8.如申請專利範圍第6項之光罩載具，其中，各該光罩限制器包含一對配置成直角之彈力臂，各彈力臂具有一光罩嚙合部，用於嚙合光罩之一上邊緣。
9.如申請專利範圍第6項之光罩載具，其又包含至少一閂鎖機構，用於將該蓋部鎖固至該基部。
10.如申請專利範圍第6項之光罩載具，其中，各該光罩支架包含一自該基部向上突出的肋條。
11.如申請專利範圍第10項之光罩載具，其中，該肋條呈現一具有一對相間隔的光罩嚙合部之上邊緣。
12.一種光罩載具，用於承載通常為平面的光罩，包括：一基部，具有複數個光罩支架，當光罩置於光罩支架上時，該光罩支架適於接觸及支撐光罩之下表面；及一蓋部，用於緊密配合該基部，該蓋部具有一內表面、複數個光罩限制器及用於當該蓋部與該基部配合時，橫向滑動定位光罩使其與該光罩限制器嚙合之自該內表面突出之光罩定位凸片。
13.如申請專利範圍第12項之光罩載具，其中，各該凸片具有一斜角邊緣部，當該蓋部與該基部配合時，該斜角邊緣部之方向係可與該光罩支架上之一光罩的上邊緣嚙合。
14.如申請專利範圍第12項之光罩載具，其中，該光罩定位凸片包含一具有一對相對端之彈力部件，一端係固接至該內表面，相對端則為自由端，及其中該基部具有一穴部用於容納該彈力部件之自由端。
15.如申請專利範圍第12項之光罩載具，各該光罩限制器包含一對配置成直角之彈力臂，各彈力臂具有一光罩嚙合部，用於嚙合光罩之一上邊緣。
16.如申請專利範圍第15項之光罩載具，其又包含至少一閂鎖機構，用於將該蓋部鎖固至該基部。
17.如申請專利範圍第12項之光罩載具，其中，各該光罩支架包含一自該基部向上突出的肋條。
18.如申請專利範圍第17項之光罩載具，其中，該肋條呈現一具有一對相間隔的光罩嚙合部之上邊緣。
19.一種支撐光罩於容器中之方法，該光罩具有上表面、相對之下表面、四個隅角、延伸於隅角之間的橫向側壁，以及位於上表面與橫向側壁中間的上周邊，該方法包含：提供一容器，其包含具有複數個光罩支架的基部；及一具有複數個光罩定位部之蓋部，各光罩定位部具有一凸片；將光罩放置於該複數個光罩支架上，使得光罩之下表面置於光罩支架上，且沒有其他光罩部分與光罩支架接觸，該光罩係可在其上橫向滑動；藉由基部漸進地靠近蓋部，放置該複數個光罩定位部中至少一者之凸片與光罩中間相鄰隅角之上周邊接觸；及藉由嚙合蓋部與基部，滑動迫使該光罩進入相關於基部之期望位置。
20.如申請專利範圍第19項之方法，其中，該容器更包含：一閂鎖機構，位於蓋部上；及一對應於該閂鎖機構之凹槽，該凹槽位在基部上，用於容納該閂鎖機構以可移除地將蓋部固鎖至基部。
四、有效性證據技術分析：㈠原證3：原證3為我國第426218號「具保護光罩功能的光罩
盒」專利案（見本院卷一第118-142頁），其公告日90年3月11日係早於系爭專利優先權日（91年7月5日），可為系爭專利相關之先前技術。
⑴原證3技術內容：
原證3係有關於一種具保護光罩功能的光罩盒。此具保護光罩功能之光罩盒至少包括一底座，一頂蓋，一電位零點，多數個滾輪，多數個導電支架，多數條導線以及多數個固定架。底座與頂蓋是用來包裝與遮蔽一光罩，多數個固定架是用來固定此光罩，而多數個導電支架則是用來支撐此光罩，並且每一個導電支架皆係透過位於其頂部的一滾輪與光罩相接，藉以使得當光罩移動時光罩與支架間的磨擦至多為滾動磨擦，此外每一個支架接皆透過一導線連皆到此電位零點，並且每一個滾輪皆是以導電材料所形成，進而使得任何出現在光罩上的電荷皆立刻被傳導到此電位零點而不會累積在光罩上。（見摘要）⑵原證3主要圖式如附圖二所示。
㈡證據2：證據2為美國第US0000000B1號「SMIFcontainer
includingareticlesupportstructure」專利案（見原處分卷第88-77頁，中譯文見本院卷二第417-440頁），其公告日2001年4月17日係早於系爭專利優先權日（91年7月
5日），可為系爭專利相關之先前技術。⑴證據2技術內容：
揭示一種光罩支撐機構，其中一光罩可快速且輕易的設置與卸下，且其能夠穩固支撐一光罩，用以儲存與輸送。本發明之一較佳之實施例包括一對光罩支架，固定於該容器之一基部上，以及一對光罩固定架固定於該容器之一外殼上。當該容器蓋部於該容器基部相聯結時，該光罩支架及該光罩保持器之部分嚙合該光罩之倒角邊緣，且將該光罩夾在該容器中之一固定的位置上。由於該光罩的倒角邊緣被嚙合，可避免該光罩之上部和下部表面以及垂直邊緣因碰觸而造成損害（見摘要)。圖雖未示，基部104最好包含一突出部，用於將該蓋部102可裝卸地連結至該容器基部104。【說明書第5欄倒數第2行至第6欄第1行】⑵證據2主要圖式如附圖三所示。
㈢證據6：證據6為美國US0000000號ReticleCassette專利
案（見原處分卷第35-32頁，中譯文見本院卷二第444-450頁），其公告日1989年5月16日係早於系爭專利優先權日（91年7月5日），可為系爭專利相關之先前技術。
⑴證據6技術內容：
一防塵箱適用於半導體微電路製造，係保存一如光罩、光學遮罩或晶圓之盤狀構件，已被揭露。該防塵箱具有一沿著一箱體與一箱蓋或箱門之間的一嚙合部分而設置的彈性體密封構件，來達到該防塵箱足夠的完全防塵特性，使其有效的防止灰塵或異物顆粒進入該防塵箱。在該箱體與該箱蓋之間的一嚙合部分，設置有於箱門閉合時會互接之突出部和凹槽。該會互接之突出部和凹槽設置於該彈性體密封構件的內側，如此可有效防止附著於密封構件並於開箱時散射之顆粒進入該防塵箱（見摘要）。證據6第7頁第
5欄第14行：「蓋部12憑藉一連結機構15連結至基部11/
Theuppermember12iscoupledtothelowermember
11bymeansofacouplingmechanism15.」。⑵證據6主要圖式如附圖四所示。
五、技術爭點分析：㈠系爭專利請求項請求項1，4至6，10至12，17至19，是否
違反核准審定時專利法第26條第3項規定？⑴按系爭專利核准審定時之92年專利法第26條第3項規定：
「申請專利範圍應明確記載申請專利之發明，各請求項應以簡潔之方式記載，且必須為發明說明及圖式所支持」。
所謂申請專利範圍應明確，指申請專利範圍每一請求項之記載應明確，且申請專利範圍所有請求項整體之記載亦應明確，使該發明所屬技術領域中具有通常知識者從申請專利範圍之記載，參酌申請時的通常知識，即可明確瞭解其意義，而對其範圍不會產生疑義。具體而言，即每一請求項中所記載之範疇及必要技術特徵應明確，且每一請求項之間的依附關係亦應明確。判斷申請專利範圍之記載是否明確，應參酌下列事項：1.發明說明揭露之內容；2.申請時的通常知識；3.該發明所屬技術領域中具有通常知識者於申請當時對申請專利範圍之認知。至於申請專利範圍必須為發明說明及圖式所支持，係要求申請專利範圍中每一請求項所記載之申請標的必須是該發明所屬技術領域中具有通常知識者從發明說明所揭露的內容直接得到的或總括得到的技術手段，故請求項係由一個或一個以上的實施方式或實施例總括而成，請求項總括的內容應恰當。該發明所屬技術領域中具有通常知識者基於發明說明所揭露的內容，利用例行之實驗或分析方法即可延伸者，或對於發明說明所揭露之內容僅作明顯之修飾即能獲致者，均應認定為發明說明所支持之範圍。
⑵系爭專利請求項1、4至6、10至12、17至18之「該斜角
邊緣部之方向係可橫向滑動迫使該光罩與該光罩限制器嚙合」或「該光罩定位凸片適用於橫向滑動迫使該光罩與該光罩限制器嚙合」之技術特徵，是否不為說明書及圖式所支持，而違反92年專利法第26條第3項規定？
1.原告主張，系爭專利說明書及圖式所能支持之技術特徵係「當該蓋部與該基部配合時，該斜角邊緣部之方向係可「向下滑動」迫使該光罩與該光罩限制器嚙合。故斜角邊緣部係隨同蓋部向下滑動，光罩則係橫向滑動，系爭專利發明說明完全沒有教示「該斜角邊緣部之方向係可橫向滑動」之技術特徵，故請求項1、6、12未受說明書及圖式所支持。請求項4、5依附請求項1，請求項
10、11依附請求項6，請求項17、18依附請求項12而有相同瑕疵，均違反92年專利法第26條第3項規定云云。
⒉惟查，依系爭專利說明書第9頁第19行至第10頁第2行所
載內容：「如圖6所示。當蓋部140如圖7所示向下移動時，若後表面208係與後部定位凸片128間隔開，則自我定位凸片150之斜角引導邊緣152會嚙合上光罩表面202與前光罩表面204所形成之隅角210。當蓋部14
0如圖7與8所示向下移動時，隅角210沿斜角引導邊緣152滑動，使得光罩200被推向後部定位凸片128。
當蓋部140幾乎完全嚙合基部120時，隅角210滑過隅角170，使得垂直邊緣部172嚙合前表面204，如圖9所示」已明確揭露「該斜角邊緣部向下移動」、「使該光罩橫向滑動」、及「該光罩定位凸片之方向被定為使該斜角邊緣部迫使該光罩橫向滑動」等相關結論；因此該發明所屬技術領域中具有通常知識者，依據上述說明書記載之內容，並參酌申請時之通常知識，審視系爭請求項1之相關整體內容「該蓋部具有一內表面，其上突設有複數個相間隔之光罩限制器及一對光罩定位凸片，各該光罩定位凸片具有一斜角邊緣部，當該蓋部與該基部配合時，該斜角邊緣部之方向係可橫向滑動迫使該光罩與該光罩限制器嚙合」時，當能瞭解系爭專利請求項
1之「該斜角邊緣部之方向係可橫向滑動迫使該光罩與該光罩限制器嚙合」所指的是「該光罩定位凸片之方向被定為使該斜角邊緣部迫使該光罩橫向滑動與該光罩限制器嚙合」，請求項1並無不為系爭專利說明書及圖式所支持之情形，原告上述主張並不可採。
⒊請求項6之「當該蓋部與該基部配合時，該光罩定位凸
片適用於橫向滑動迫使該光罩與該光罩限制器嚙合」，及請求項12之「該蓋部具有一內表面、複數個光罩限制器及用於當該蓋部與該基部配合時，橫向滑動定位光罩使其與該光罩限制器嚙合之自該內表面突出之光罩定位凸片」，依上開說明，亦無不為系爭專利說明書及圖式所支持之情事。又請求項4、5依附請求項1，請求項
10、11依附請求項6，請求項17、18依附請求項12，均無不為系爭專利說明書及圖式所支持之情形，原告主張上請求項違反92年專利法第26條第3項規定，不足採信。（原告 嗣陳明 請求項19無上開瑕疵，撤回此部分之主張，見原告105年8月1日辯論意旨狀第4頁，本院卷三第745頁，故請求項19勿庸論述）。
⑶系爭專利請求項1、4至6、10至12、17至19包含「該光
罩支架被定位且適於接觸及支撐光罩之下表面」或「光罩之下表面置於光罩支架上，且沒有其他光罩部分與光罩支架接觸」之技術特徵，是否不為說明書及圖式所支持，而違反92年專利法第26條第3項規定？⒈原告主張，請求項1、4至6、10至12、17至19包含「
該光罩支架被定位且適於接觸及支撐光罩之下表面」或「光罩之下表面置於光罩支架上，且沒有其他光罩部分與光罩支架接觸」之技術特徵，惟對於光罩支架在光罩表面可能造成刮傷或損壞的風險，應如何避免，均未予說明，故請求項1、4至6、10至12、17至19均未受說明書及圖式所支持，違反92年專利法第26條第3項規定云云。
⒉經查，系爭專利發明說明中【發明內容】已揭露解決問
題之方法：「本發明提供一種適當地定位一載具中之光罩的裝置，使其與光罩限制器嚙合，同時減少光罩限制器致使光罩表面損壞的機會。再者，利用本發明，光罩於光罩支架上之手動定位可較不精確，允許較大的誤差容許度」，系爭專利圖3及其相關說明進一步揭示光罩
200被置放於光罩支架122之上，且相對上光罩表面20
2之下表面係與光罩支架122接觸，故光罩支架122接觸並支撐光罩200下表面，故系爭請求項1中「該光罩支架被定位且適於接觸及支撐光罩之下表面」之技術特徵可為發明說明及圖式所支持，原告上述主張並不可採。又查，系爭專利發明說明中【先前技術】已記載所欲解決之問題：「所需要的是某種結構或裝置，其可確保光罩載具中光罩本身之適當定位以防止與限制部件嚙合期間之損壞」，【發明內容】已記載解決問題之方法：
「本發明提供一種適當地定位一載具中之光罩的裝置，使其與光罩限制器嚙合，同時減少光罩限制器致使光罩表面損壞的機會」，因此系爭專利已揭露「在光罩支架嚙合光罩表面時要避免光罩產生刮傷或其他物理損壞」之目的與方法，系爭專利發明說明雖未針對請求項1中「該光罩支架被定位且適於接觸及支撐光罩之下表面」之技術特徵作進一步之揭露，惟「光罩下表面具有用於曝光製程之線路圖案區域」、「業界標準所規範光罩下表面可為光罩支架接觸及支撐之區域」係為該發明所屬技術領域中具有通常知識者在系爭專利申請時所熟知，且該「光罩下表面支撐區域」之細節與系爭專利定位光罩之技術並無直接關聯，如原證3之台灣426218號新型專利，對於其關鍵技術之「光罩支架/滾輪」不得支撐於光罩之何區域亦未見任何說明，足證並非碰觸光罩下表面即會損害光罩，且該發明所屬技術領域中具有通常知識者在參酌系爭專利說明書及系爭專利申請時之通常知識後，於實施系爭專利請求項1、6、12之「該光罩支架被定位且適於接觸及支撐光罩之下表面」、請求項19之「光罩之下表面置於光罩支架上，且沒有其他光罩部分與光罩支架接觸」之技術特徵時，應能避免光罩產生刮傷或其他物理損壞，故系爭專利請求項1、6、12、19並無不為說明書及圖式所支持之情事。請求項4、
5依附於請求項1，請求項10、11依附於請求項6，請求項17、18依附於請求項12，亦無不為說明書及圖式所支持之情事，原告主張上開請求項違反系爭專利審定時專利法第26條第3項規定，不足採信。
⑷系爭專利請求項1、4至6、10至12、17至19「有斜角邊
緣部(光罩定位凸片)卻無彈性臂」之技術特徵，是否不為說明書及圖式所支持，而違反92年專利法第26條第3項規定？⒈原告主張，系爭專利說明書及圖式僅揭露同時具備「
固定元件」和「彈性元件」以共同達成此功效作用之技術，惟請求項1、4至6、10至12、17至19卻僅有作為「固定元件」的「定位凸片」，而不具備作為「彈性元件」的「彈性臂」因此，請求項1、4至6、10至12、17至19未為發明說明及圖式所支持，違反92年專利法第26條第3項規定云云。
⒉經查系爭專利請求項1已揭示「該光罩與該光罩限制
器嚙合」之技術特徵，請求項1雖未進一步記載該「光罩限制器」中之「彈力臂」，惟由系爭專利圖9及發明說明第9頁末行至第10頁所載：「當蓋部140幾乎完全嚙合基部120時，隅角210滑過隅角170，使得垂直邊緣部172嚙合前表面204，如圖9所示」，可見一旦光罩被移動至定位，光罩定位凸片之垂直邊緣部亦可發揮繼續保持光罩於定位之效果，因此系爭專利雖揭露彈力臂，但該彈力臂並非在蓋部與基部配合後，用來固定光罩位置的必要技術特徵，換言之，在系爭專利中，一旦光罩到達定位，該發明所屬技術領域中具有通常知識者在參酌系爭專利說明書及系爭專利申請時之通常知識後，應可採用彈力臂或其他適當結構進一步維持光罩在該定位。故請求項1、4至
6、10至12、17至19「有斜角邊緣部（光罩定位凸片）卻無彈性臂」之技術特徵，並無不為說明書及圖式所支持而違反92年專利法第26條第3項之規定，原告之主張，不足採信。
⒊原告雖援用參加人於本院104年度民專訴字第36號侵
害專利權有關財產權爭議民事事件，104年11月2日由參加人（該事件之原告）之輔佐人之陳述及其提出之簡報說明，足認系爭專利必須同時具備「固定元件」和「彈性元件」以共同達成「能穩定地固持光罩以減少光罩之振動及位移」之光罩載具之基本功能云云。惟按，申請專利範圍是否為發明說明及圖式所支持，應以該發明所屬技術領域中具有通常知識者，從申請專利範圍、發明說明及圖式之記載，並參酌申請時的通常知識，是否可以明確瞭解其意義，而為判斷，至於專利權人於訴訟中對於系爭專利申請時光罩載具之相關產業及技術背景之簡報，僅係供法院作為參考，尚不能以該簡報資料，作為認定申請專利範圍是否為發明說明及圖式所支持之依據，原告之主張，尚不足採。
⑸系爭專利請求項1、4至6、10至12、17至19包含既固
持又可滑動的「嚙合」技術特徵，是否不為說明書及圖式所支持，而違反92年專利法第26條第3項規定？⒈原告主張，依系爭專利說明書第9頁第19-23行，及系
爭專利說明書第5頁最後1行至第6頁第1行記載，在「斜角引導邊緣152嚙合隅角210」的狀態下，可理解為光罩定位凸片與光罩間不會有相對位移，故系爭專利說明書無法支持系爭專利請求項1、4至6、10至12、17至19中「既固持又滑動」之「嚙合」要件云云。
⒉惟查，依系爭專利圖式之圖6至9及相關說明，圖6
揭示蓋部140將與基部120配合之第一動作，蓋部14
0之斜角引導邊緣152尚與光罩200之隅角210間隔一距離，而未接觸光罩200之隅角210；圖7則揭示蓋部140與基部120配合之第二動作，其中蓋部140之位置相較於圖6所示之位置略為下降，此時蓋部14
0之斜角引導邊緣152恰接觸光罩200之隅角210，而與光罩200之隅角210相互嚙合；圖8係揭示蓋部
140與基部120配合之第三動作，其中蓋部140之位置相較於圖7所示之位置更為下降，而與斜角引導邊緣152接觸之隅角210因蓋部140進一步的向下移動而被迫使沿斜角引導邊緣152產生滑動，使得光罩20
0產生一橫向之位移；最後，圖9係揭示光罩已適當地定位（系爭專利說明書第9-10頁），此時光罩到達如圖4顯示之定位，光罩之上方的各隅角分別被光罩限制器之彈力臂143中的凹口160嚙合。系爭專利之發明說明及圖式已清楚揭露斜角引導邊緣152與隅角
210之間一開始的「接觸（嚙合）」、過程中的「相對滑動」、最後的定位狀態的「嚙合」等種種相互動作之關係，並無任何矛盾或者不合理之處。又查，系爭專利之「嚙合」，在機械技術領域中經常用於描述如齒輪等物品彼此接合、相互配合以傳導機械力或力矩之動作，是一種接觸、配合之意，尤其齒輪間彼此嚙合後仍可轉動，故「嚙合」與「滑動」並無必然不相容之情形。系爭專利說明書關於光罩「嚙合」與「滑動」之記載，並無矛盾或者不合理之處，所屬技術領域之通常知識者可輕易從系爭專利之發明說明及圖式所揭示者，得知系爭專利請求項之技術內容，請求項1、4至6、10至12、17至19並無不為說明書及圖式所支持而違反92年專利法第26條第3項之規定，原告之主張，不足採信。
⑹系爭專利請求項6、10至12、17至19包含「光罩定位凸
片」但無「斜角邊緣」，是否不為說明書及圖式所支持，而違反92年專利法第26條第3項規定？⒈原告主張，除「斜角邊緣」之外，系爭專利並未揭露
任何將光罩推至適當位置的其他技術手段。該發明所屬技術領域中具有通常知識者無法從發明說明所揭露的內容直接得到或總括得到斜角邊緣以外的任何其他技術手段。請求項6、12、19，均僅以功能界定「光罩定位凸片」或「凸片」，但未界定其具體構造，所屬技術領域具有通常知識者，參酌申請時的通常知識，無法瞭解「適用於橫向滑動迫使該光罩與該光罩限制器嚙合」之功能界定所涵蓋之範圍，故請求項6、
12、19，及依附之請求項10、11，請求項17、18均未為發明說明及圖式所支持，違反系爭專利審定時專利法第26條第3項規定云云。
⒉惟按，92年專利法第1條規定「為鼓勵、保護、利用
發明與創作，以促進產業發展，特制定本法」，專利制度旨在鼓勵、保護、利用發明與創作，以促進產業發展。一方面，申請人經由申請、審查程序，授予專有排他之專利權，以鼓勵、保護其發明。另一方面，在授予專利權時，亦確認該發明專利之保護範圍，使公眾能經由說明書之揭露得知該發明內容，進而利用該發明開創新的發明，促進產業之發展。申請人透過公開其實施方式獲得獨占專利權，若僅解讀實施方式而為專利權之範圍，第三人即可輕易迴避專利權範圍而規避侵權責任，此將剝奪申請人揭露發明之回報。因此，在符合專利制度的規範（例如：新穎性、進步性或記載要件等)下，應允許申請人以有限的文字、用語界定申請專利範圍，以獲得合乎其對於先前技術之技術貢獻度相當之權利範圍，以達到鼓勵、保護、利用的立法目的之初衷。依92年專利法第26條第3項規定，申請專利範圍必須為發明說明及圖式所支持，記載於請求項之技術特徵係申請人認為界定申請專利之發明的必要技術特徵，非必要技術特徵得不予記載；而必要技術特徵，指發明為解決問題所不可或缺的技術特徵，其整體構成發明的技術手段，係發明與先前技術比對之基礎。又每一請求項所記載之內容必須是該領域具有通常知識者，參酌申請時之通常知識，利用例行之實驗或分析方法，即可由說明書揭露的內容合理預測或延伸至請求項之範圍。若說明書已提供足夠資訊，使該領域中具有通常知識者，參酌申請時之通常知識即可實施時，則有限數量（甚至僅需一個）之實施例，亦足以支持一廣泛的請求項之範圍時，應認定系爭專利之請求項內容為發明說明及圖式所支持。又按，「請求項中之記載使用『手段（或裝置）用以（meansfor）……』或『步驟用以（stepfor）……』之用語記載技術特徵；且『手段（或裝置）用以……』或『步驟用以……』之用語中必須記載特定功能；且『手段（或裝置）用以……』或『步驟用以……』之用語中不得記載足以達成該特定功能之完整結構、材料或動作，符合上開三項條件者即認定其為手段功能用語或步驟功能用語」。
⒊查系爭專利請求項6、12所界定之「光罩定位凸片」
或請求項19之「凸片」，已明確揭示係設於光罩載具之蓋部內表面，並自內表面突出之片狀結構，已揭露一具體元件設置之位置、結構等特徵，而「斜角邊緣」僅為該元件邊緣的形狀之描述，屬「光罩定位凸片」之下位概念，原告主張系爭專利請求項之「光罩定位凸片」未界定具體構造，僅以功能界定，屬以手段功能用語表示之請求項，尚非可採。
⒋又查，系爭專利之主要技術特徵在於透過設於蓋部之
光罩定位凸片，用以推動光罩橫向滑動到達基部的預定位置，最後再透過光罩限制器固定。雖然，系爭專利說明書僅揭示光罩定位凸片之「斜角邊緣」推動光罩至預定位置一種態樣，惟光罩定位凸片可推動光罩橫向滑動至預定位置之核心機械功能，即「以一具一斜邊之物件，用該斜邊之垂直位移來壓迫另一物件之邊緣使其產生橫向位移」，該發明所屬技術領域中具有通常知識者，依據系爭專利說明書揭露之內容，並參酌申請時之通常知識，當能利用例行之實驗或分析方法，創作足以推動光罩產生橫向位移相同機械功能之光罩定位凸片，以完成系爭發明之目的，換言之，使用斜角邊緣部152與光罩隅角210之配合，僅是可實現定位凸片推動光罩之實施方式之一，而非唯一之實施方式，光罩載具技術領域具有機械設計能力之通常知識者，應可利用例行之實驗或分析方法，合理地將斜角邊緣部修改成其他樣式，例如圓滑凸部或其他特殊形狀之斜面、或具有凸輪（cam）作用之表面等，尚不能因系爭專利說明書未揭露除「斜角邊緣」之外的其他技術手段，即認為該發明所屬技術領域中具有通常知識者，無法從發明說明所揭露的內容，合理推知光罩定位凸片可以有「斜角邊緣」以外之其他形狀與機構。另觀諸系爭專利於請求項6、12（獨立項），並未限定光罩定位凸片之形狀，嗣於依附請求項
6及12之附屬項7、13，始界定該光罩定位凸片具有「一斜角邊緣部」，且系爭專利說明書第10頁第2段亦特別載明：「熟悉本技藝者在不離開本發明之範圍內當可對本發明之自我定位光罩載具具體例作各種可能的修改。此等具體例包括但不限於變化定位凸片之數量、位置與構造」等語，足認專利權人於申請時，並無將光罩定位凸片之形狀限於只有「斜角邊緣」一種實施態樣之意，綜上，系爭專利請求項6、10至12、17至19包含「光罩定位凸片」但無「斜角邊緣」，並無不為說明書及圖式所支持而違反92年專利法第26條第3項之規定，原告之主張，不足採信。
㈡系爭專利請求項1、6、12、19，是否違反核准時專利法第
26條第4項、施行細則第18條第2項之規定？⑴按系爭專利審定時之92年專利法第26條第4項所載：「發
明說明、申請專利範圍及圖式之揭露方式，於本法施行細則定之。」、施行細則第18條第2項所載：「獨立項應敘明申請專利之標的及其實施之必要技術特徵。」係指獨立項應敘明解決問題不可或缺的必要技術特徵，以呈現申請專利之發明的整體技術手段。必要技術特徵，指申請專利之發明為解決問題所不可或缺的技術特徵，其總和整體構成發明的技術手段，係申請專利之發明與先前技術比對之基礎。因說明書與獨立項之間必要技術特徵不一致而需要判斷獨立項是否敘明必要技術特徵時，則應依發明說明之記載或隱含的內容，並參酌申請時的通常知識，認定獨立項是否未敘明實施之必要技術特徵。
⑵系爭專利請求項1、6、12、19，是否未載明「兼顧允許放
置光罩誤差及放置誤差能被修正」之必要技術特徵，違反核准時專利法第26條第4項暨其施行細則第18條第2項之規定？原告主張，系爭專利請求項1、6、12、19未載明「兼顧允許放置光罩誤差及放置誤差能被修正」之實施專利發明之必要技術特徵云云。經查，系爭專利說明書第6頁最後一段及其後之實施例，已經揭露系爭專利之技術係在於將光罩粗略地放置於基部120之光罩支架122上後，當蓋部14
0與基部120配合時，利用蓋部140之光罩定位凸片150將光罩橫向推移至ㄧ正確之位置。因此，之後欲將光罩載具100中之光罩取出使用，而將蓋部140打開時，光罩已位於ㄧ正確之位置。故機械手臂可正確且順利地從光罩底部兩側支撐光罩並取出光罩。系爭專利已經揭露欲達成使光罩載具兼顧「可允許人為及機械所造成放置光罩之誤差」與「該放置誤差能被修正」目的之技術手段，且獨立請求項1、6、12、19均已包含「自蓋部內表面突出之光罩定位凸片」用以「推動光罩橫向滑動」到基座上之定位之特徵。因此，在每一次光罩載具關閉時都能準確地重新定位光罩在載具內的位置，便利下次使用時機械手臂可準確取用光罩，故請求項1、6、12、19已包含必要技術特徵。原告於其行政訴訟辯論意旨狀10至12頁又主張：「（系爭專利）圖2、3中的左右方向(即圖4中的上下方向)之定位精度十分重要。例如光罩放置之位置若稍微偏右，則左方機械手臂即支撐不到光罩，可能造成光罩僅受右方機械手臂單邊支撐而跌落」云云。惟查，系爭專利圖3中光罩200係位於光罩支架上，而側部定位元件126係在該左、右方向限制該光罩200的位置；雖然系爭專利並未進一步記載該側部定位元件126限制該光罩200位置的精度，惟該發明所屬技術領域中具有通常知識者仍可在參酌系爭專利說明書及申請時的通常知識後，無須過度實驗即可實施該側部定位元件126以限制該光罩200於適當的位置，原告主張請求項1、6、12、19未載明「兼顧允許放置光罩誤差及放置誤差能被修正」之必要技術特徵，違反審定時專利法第26條第4項暨其施行細則第18條第2項之規定，不足採信。
⑶系爭專利請求項1、6、12、19是否未載明「解決『光罩支
架接觸及支撐光罩之下表面』時容易刮傷光罩之問題」之必要技術特徵，違反核准時專利法第26條第4項暨其施行細則第18條第2項之規定？原告主張，請求項1、6、12、19未載明「解決『光罩支架接觸及支撐光罩之下表面』時容易刮傷光罩之問題」之必要技術特徵，違反審定時專利法第26條第4項暨其施行細則第18條第2項之規定云云。經查，系爭專利請求項1、6、12、19雖未記載「光罩下方不可用於支撐之區域（qualityarea）以及可用於支撐之區域」，惟認定獨立項是否未敘明實施之必要技術特徵時，應依發明說明之記載或隱含的內容，並參酌申請時的通常知識，予以判斷；系爭專利已揭露「在光罩支架嚙合光罩表面時要避免光罩產生刮傷或其他物理損壞」之目的與方法，且「光罩下表面具有用於曝光製程之線路圖案區域」、「業界標準所規範光罩下表面可為光罩支架接觸及支撐之區域」係為該發明所屬技術領域中具有通常知識者在系爭專利申請時所熟知，且該「光罩下表面支撐區域」之細節與系爭專利定位光罩之技術並無直接關聯，該發明所屬技術領域中具有通常知識者在參酌系爭專利說明書及系爭專利申請時之通常知識後，於實施系爭專利上述技術特徵時，應能避免光罩產生刮傷或其他物理損壞。故「支撐光罩『qualityarea』以外之區域」並非實施專利發明之必要技術特徵，原告上述主張，不足採信。
⑷系爭專利請求項1、6、12、19是否未載明「彈性臂」之必
要技術特徵，違反核准時專利法第26條第4項暨其施行細則第18條第2項之規定？原告主張系爭專利請求項1、6、12、19欠缺其實施之必要技術特徵「彈力臂」導致請求項1、6、12、19因不符合光罩載具「必須能穩固地固持光罩以減少光罩之振動及位移」之基本功能而無法實施云云。經查，系爭專利請求項1、6、12、19已揭示「該光罩與該光罩限制器嚙合」之技術特徵，請求項1、6、12、19雖未進一步記載該「光罩限制器」中之「彈力臂」，惟由系爭專利圖9及發明說明第9頁至第10頁所載：「當蓋部140幾乎完全嚙合基部12
0時，隅角210滑過隅角170，使得垂直邊緣部172嚙合前表面204，如圖9所示」，可見一旦光罩被移動至定位，光罩定位凸片之垂直邊緣部亦可發揮繼續保持光罩於定位之效果中，因此系爭專利請求項1、6、12、19雖未揭露彈力臂，但該彈力臂並非在蓋部與基部配合後，用來固定光罩位置的必要技術特徵，故原告上述主張，並不可採。
⑸系爭專利系爭專利請求項6、12、19是否未載明「斜角邊
緣」之必要技術特徵，違反核准時專利法第26條第4項暨其施行細則第18條第2項之規定？原告主張，系爭專利除「斜角邊緣」之外，並未揭露任何將光罩推至適當位置的其他技術手段，該發明所屬技術領域中具有通常知識者無法從發明說明所揭露的內容直接得到或總括得到斜角邊緣以外的任何其他技術手段，故「斜角邊緣」為「光罩定位凸片」之必要技術特徵，請求項6、12、19包含「光罩定位凸片」但無「斜角邊緣」，自未載明「斜角邊緣」之必要技術特徵云云。惟查，使用斜角邊緣部152與光罩隅角210之配合，僅是可實現定位凸片推動光罩之實施方式之一，而非唯一之實施方式，故「斜角邊緣」並非請求項6、12、19光罩定位凸片之必要技術特徵，已如前述，故原告上述主張，並不可採。
㈢證據2、或證據2結合原證3可否證明系爭專利請求項1、
3至7、9至13、17至19不符合核准審定時專利法第22條第4項之規定？⑴證據2、或證據2結合原證3無法證明系爭專利請求項1不具進步性：
1.證據2無法證明系爭專利請求項1不具進步性：①系爭專利請求項1內容係為「一種光罩載具，用於承
載光微影半導體製程中所使用的光罩，該光罩通常係平面的，具有相對的上表面及下表面以及四個隅角，該載具包括：一基部，具有至少一對相間隔的光罩支架，當光罩置於光罩支架上時，該光罩支架被定位且適於接觸及支撐光罩之下表面，該光罩係可在其上橫向滑動；及一蓋部，用於緊密配合該基部，該蓋部具有一內表面，其上突設有複數個相間隔之光罩限制器及一對光罩定位凸片，各該光罩定位凸片具有一斜角邊緣部，當該蓋部與該基部配合時，該斜角邊緣部之方向係可橫向滑動迫使該光罩與該光罩限制器嚙合，該光罩定位凸片係被定位成與該光罩之光罩中間相鄰隅角嚙合」。
②證據2第18頁第1欄第14行：「本發明係關於一種標
準機械界面(SMIF)容器用以運送工件，諸如半導體或光罩廠之中之光罩」，其中標準機械界面(SMIF)容器即為光罩載具，用於承載光微影半導體製程中所使用之光罩，證據2圖17揭露該光罩127為平面狀，且具有相對的上表面及下表面以及四個隅角。因此，證據2已揭示系爭專利請求項1「一種光罩載具，用於承載光微影半導體製程中所使用的光罩，該光罩通常係平面的，具有相對的上表面及下表面以及四個隅角，該載具包括：」之技術特徵。
③證據2第21頁第7欄第54行：「每個光罩支架112進
一步包括一對支柱126，用以將一光罩127，支撐於該容器基部104之上表面上方一固定的高度上…為支撐該光罩，每個支柱126的頂部包括一斜壁凹槽128」、證據2第2欄第53行：「首先，希望與該光罩之上部及下部表面的接觸最小化。任何此類的接觸可能會產生微粒，及/或影響蝕刻於該光罩上的圖樣。另外，希望避免接觸該光罩的垂直邊緣」，因此，證據2已揭示系爭專利請求項1「一基部，具有至少一對相間隔的光罩支架，當光罩置於光罩支架上時，該光罩支架被定位且適於接觸及支撐光罩之下表面，」之技術特徵。
④系爭專利請求項1之特徵：「該光罩係可在其（指光
罩支架）上橫向滑動」，原告於其起訴狀第4至5頁主張：「證據2說明書第22頁第9欄第5行：『參考圖8-10，顯示一光罩127，受一無意之作用力以箭頭
A之方向作用。該作用力導致該光罩以箭頭B的方向旋轉，向上且脫離該傾斜的側壁129及130』，其中因為『橫向旋轉』屬於橫向滑動的下位概念（因『平移』及『旋轉』皆屬『滑動』之下位概念），所以光罩127可在光罩支架112上橫向滑動」云云。惟查，證據2仍是傳統光罩載具之技術，且證據2說明書第
8欄第24至29行：「光罩的倒角邊緣與傾斜面間相對小的磨擦力會使得光罩自動移位至一唯一結果位置，因此當光罩一被放到光罩支架112上時，就使其快速、準確地下落到基座之定位」、證據2第4欄第14至18行：「當一光罩下降進入該光罩支架中時，該光罩之邊緣與該斜壁凹槽128的每個傾斜表面相接觸之處，將有一個唯一的水平平面。由於光罩之重量及該光罩邊緣與該斜壁凹槽128之表面間之低摩擦力，光罩可快速、輕易且重複地定位於此唯一結果的位置上」，即，當光罩置放在光罩支架112之四個斜壁凹槽12
8上時，係藉由光罩支架112之斜壁凹槽128之斜面來自動調整其偏移後，使光罩下落至唯一結果的水平平面上，據此，證據2光罩自動調整之定位校正非屬橫向滑動，故原告上述主張並不可採。原告又於其行政訴訟辯論意旨狀主張：「證據2說明書第10欄末端至第11欄第6行指明：光罩擺放位置可能因種種因素有所偏差，但可藉由懸桁部分（相當於具有斜角邊緣部之光罩定位凸片)平緩地將光罩推至適當位置。因此，該光罩係可在其上橫向滑動」云云。惟查，證據
2說明書第10欄末端至第11欄第6行之內容，是指當斜壁凹槽128之四個斜面上若有小缺口或某些不規則存在，會阻止該光罩自動下落定位，此時可藉由懸臂（桁）部分施力，和緩地的將光罩推離斜壁凹槽斜面之缺口或不規則處，以便光罩下落並定位於其唯一結果的位置上，故證據2懸臂（桁）之施力並非使光罩發生「橫向滑動」之位移，與系爭專利請求項1之光罩可在支架上「橫向滑動」並與光罩限制器嚙合，顯然有別，故原告上述主張亦不可採。故證據2未揭示系爭請求項1「該光罩係可在其上橫向滑動」之技術特徵。
⑤證據2圖3、及11進一步揭示一蓋部102，用於緊密
配合該基部104，蓋部102具有一內表面，其上突設兩個相間隔之懸臂部146及斜壁凹槽148（懸臂部及斜壁凹槽相當於系爭專利的光罩限制器），據上，證據2已揭示系爭請求項1「一蓋部，用於緊密配合該基部，該蓋部具有一內表面，其上突設有複數個相間隔之光罩限制器，」之技術特徵，惟，證據2並未揭示系爭專利請求項1中「光罩定位凸片」，及「各該光罩定位凸片具有一斜角邊緣部，當該蓋部與該基部配合時，該斜角邊緣部之方向係可橫向滑動迫使該光罩與該光罩限制器嚙合，該光罩定位凸片係被定位成與該光罩之光罩中間相鄰隅角嚙合」之技術特徵。原告於起訴狀第23-24頁雖以：「證據2圖3、11及17揭露一蓋部102，用於緊密配合該基部104，證據2光罩保持器114之一對懸桁部份146對應於圖17下方支撐於光罩邊緣之光罩支架112的一對柱126者，相當於系爭專利的光罩定位凸片150；另兩個懸桁部份
146對應於圖17上方支撐於光罩角落之光罩支架112的另一對柱126而位於蓋部者，相當於系爭專利的光罩限制器142，故證據2圖17已揭露系爭專利之『蓋部具有一內表面，其上突設兩個相間隔之光罩限制器
146及一對光罩定位凸片』技術特徵」云云。惟查，證據2第13欄第3段關於圖16、17之實施例，已揭示該實施例係適合與一叉式光罩夾具機構200相配合使用，本發明技術領域具有通常知識者當可確認在上述實施例中，將圖17下方光罩支架112的一對柱126設於光罩兩個相鄰角之間，其目的僅為了避開光罩夾具所必經之動線，因此圖17下方該設於光罩兩個相鄰角之間之一對柱126和與其對應之光罩保持器114之一對懸臂部146所構成之光罩固定手段，其與圖11中所揭示之光罩固定手段並無顯著差異，圖16、17之實施例亦未揭示系爭專利請求項1特徵「該光罩係可在其上橫向滑動」之理由，已如前述，據上，證據2圖16、17之光罩保持器之一對懸臂部均不具備系爭專利中「光罩定位凸片」使「該光罩橫向滑動」之功效，故原告主張證據2圖17中光罩保持器114之一對懸桁部份146對應於圖17下方支撐於光罩邊緣之光罩支架11
2的一對柱126者，相當於系爭專利的光罩定位凸片
150，尚非可採，證據2圖16、17之實施例並未揭示系爭專利「光罩定位凸片」之特徵，原告上述主張不可採。
⑥綜上，證據2並未揭示系爭專利請求項1「該光罩係
可在其上橫向滑動」、「光罩定位凸片」、及「各該光罩定位凸片具有一斜角邊緣部，當該蓋部與該基部配合時，該斜角邊緣部之方向係可橫向滑動迫使該光罩與該光罩限制器嚙合，該光罩定位凸片係被定位成與該光罩之光罩中間相鄰隅角嚙合」之技術特徵，因此該領域具有通常知識者顯然無法依據證據2的內容來輕易完成系爭請求項1之所有技術特徵，故證據2不足以證明系爭請求項1不具進步性。
2.證據2結合原證3無法證明系爭專利請求項1不具進步性：
原證3第二A圖已揭示一對相間隔的光罩支架26及滾輪25被定位且適於接觸及支撐於光罩27下表面，因此，原證3已揭示系爭請求項1「一基部，具有至少一對相間隔的光罩支架，當光罩置於光罩支架上時，該光罩支架被定位且適於接觸及支撐光罩之下表面，該光罩係可在其上橫向滑動」，惟，原證3並未揭示系爭請求項1「光罩定位凸片」、及「各該光罩定位凸片具有一斜角邊緣部，當該蓋部與該基部配合時，該斜角邊緣部之方向係可橫向滑動迫使該光罩與該光罩限制器嚙合，該光罩定位凸片係被定位成與該光罩之光罩中間相鄰隅角嚙合」之技術特徵，因此該領域具有通常知識者顯然無法依據證據2結合原證3的內容來輕易完成系爭請求項1之所有技術特徵，故引證2結合原證3不足以證明系爭請求項1不具進步性。
⑵證據2、或證據2結合原證3無法證明系爭請求項3至5不具進步性：
系爭請求項3至5係直接或間接依附於系爭請求項1，系爭請求項3至5已包含系爭請求項1之所有技術特徵，因證據2、或證據2結合原證3無法證明系爭請求項1不具進步性，已如前述，故證據2、或證據2結合原證3亦無法證明系爭請求項3至5不具進步性。
⑶證據2、或證據2結合原證3無法證明系爭請求項6不具進步性：
1.證據2無法證明系爭請求項6不具進步性：①系爭請求項6內容係為「一種光罩載具，用於承載光
微影半導體製程中所使用的通常為平面的光罩，包括：一基部，具有複數個光罩支架，當光罩置於光罩支架上時，該光罩支架適於接觸及支撐光罩之下表面；及一蓋部，用於緊密配合該基部，該蓋部具有一內表面、複數個光罩限制器及至少一自該內表面突出之光罩定位凸片，當該蓋部與該基部配合時，該光罩定位凸片適用於橫向滑動迫使該光罩與該光罩限制器嚙合。」②證據2並未揭示系爭專利「光罩定位凸片迫使光罩橫
向滑動」之技術特徵，已如前述，故證據2並未揭示系爭請求項6中「一蓋部，該蓋部具有....至少一自該內表面突出之光罩定位凸片，當該蓋部與該基部配合時，該光罩定位凸片適用於橫向滑動迫使該光罩與該光罩限制器嚙合」之技術特徵，因此該領域具有通常知識者顯然無法依據證據2的內容輕易完成系爭請求項6之所有技術特徵，故證據2不足以證明系爭請求項6不具進步性。
2.證據2結合原證3無法證明系爭請求項6不具進步性：證據2並未揭示系爭專利「光罩定位凸片迫使光罩橫向滑動」之技術特徵，理由同前請求項1所述，故證據2並未揭示系爭請求項6中「一蓋部，該蓋部具有....至少一自該內表面突出之光罩定位凸片，當該蓋部與該基部配合時，該光罩定位凸片適用於橫向滑動迫使該光罩與該光罩限制器嚙合」之技術特徵，原證3亦未揭示上開技術特徵，理由同請求項1所述，因此該領域具有通常知識者顯然無法依據證據2結合原證3的內容來輕易完成系爭專利請求項6之所有技術特徵，故證據2結合原證3不足以證明系爭請求項6不具進步性。
⑷證據2、或證據2結合原證3無法證明系爭請求項7、9至11不具進步性：
系爭請求項7、9至11係直接或間接依附於系爭請求項6，系爭請求項7、9至11已包含系爭請求項6之所有技術特徵，因證據2、或證據2結合原證3無法證明系爭請求項6不具進步性，故證據2、或證據2結合原證3亦無法證明系爭請求項7、9至11不具進步性。
⑸證據2、或證據2結合原證3無法證明系爭請求項12不具進步性：
1.證據2無法證明系爭請求項12不具進步性：①系爭請求項12內容係為「一種光罩載具，用於承載通
常為平面的光罩，包括：一基部，具有複數個光罩支架，當光罩置於光罩支架上時，該光罩支架適於接觸及支撐光罩之下表面；及一蓋部，用於緊密配合該基部，該蓋部具有一內表面、複數個光罩限制器及用於當該蓋部與該基部配合時，橫向滑動定位光罩使其與該光罩限制器嚙合之自該內表面突出之光罩定位凸片。」②證據2並未揭示系爭專利「光罩定位凸片迫使光罩橫
向滑動」之技術特徵，理由同前請求項1所述，故證據2並未揭示請求項12「一蓋部，該蓋部具有....用於當該蓋部與該基部配合時，橫向滑動定位光罩使其與該光罩限制器嚙合之自該內表面突出之光罩定位凸片」之技術特徵，因此該領域具有通常知識者顯然無法依據證據2的內容來輕易完成系爭請求項12之所有技術特徵，故引證2不足以證明系爭請求項12不具進步性。
2.證據2結合原證3無法證明系爭專利請求項12不具進步性：證據2並未揭示系爭專利「光罩定位凸片迫使光罩橫向滑動」之技術特徵，理由同請求項1所述，故證據
2並未揭示系爭請求項12「一蓋部，用於緊密配合該基部，該蓋部具有一內表面、複數個光罩限制器及用於當該蓋部與該基部配合時，橫向滑動定位光罩使其與該光罩限制器嚙合之自該內表面突出之光罩定位凸片」之技術特徵，原證3亦未揭示上開技術特徵，因此該領域具有通常知識者顯然無法依據證據2結合原證3的內容來輕易完成系爭專利請求項12之所有技術特徵，故證據2結合原證3不足以證明系爭請求項12不具進步性。
⑹證據2、或證據2結合原證3無法證明系爭專利請求項13、17至18不具進步性：
系爭請求項13、17至18係直接或間接依附於系爭請求項12，系爭請求項13、17至18已包含系爭請求項12之所有技術特徵，因證據2、或證據2結合原證3無法證明系爭請求項12不具進步性，已如前述，故證據2、或證據2結合原證3亦無法證明系爭請求項13、17至18不具進步性。⑺證據2、或證據2結合原證3無法證明系爭請求項19不具進步性：
1.證據2無法證明系爭請求項19不具進步性：①系爭專利請求項19內容係為「一種支撐光罩於容器中
之方法，該光罩具有上表面、相對之下表面、四個隅角、延伸於隅角之間的橫向側壁，以及位於上表面與橫向側壁中間的上周邊，該方法包含：提供一容器，其包含具有複數個光罩支架的基部；及一具有複數個光罩定位部之蓋部，各光罩定位部具有一凸片；將光罩放置於該複數個光罩支架上，使得光罩之下表面置於光罩支架上，且沒有其他光罩部分與光罩支架接觸，該光罩係可在其上橫向滑動；藉由基部漸進地靠近蓋部，放置該複數個光罩定位部中至少一者之凸片與光罩中間相鄰隅角之上周邊接觸；及藉由嚙合蓋部與基部，滑動迫使該光罩進入相關於基部之期望位置。」②證據2並未揭示系爭專利「光罩定位凸片迫使光罩橫
向滑動」之技術特徵，理由同請求項1所述，故證據
2並未揭示系爭請求項19「各光罩定位部具有一凸片；....該光罩係可在其上橫向滑動；藉由基部漸進地靠近蓋部，放置該複數個光罩定位部中至少一者之凸片與光罩中間相鄰隅角之上周邊接觸；及藉由嚙合蓋部與基部，滑動迫使該光罩進入相關於基部之期望位置。」之技術特徵，因此該領域具有通常知識者顯然無法依據證據2的內容來輕易完成系爭請求項19之所有技術特徵，故證據2不足以證明系爭請求項19不具進步性。
2.證據2結合原證3無法證明系爭請求項19不具進步性：證據2並未揭示系爭請求項19「各光罩定位部具有一凸片；....該光罩係可在其上橫向滑動；藉由基部漸進地靠近蓋部，放置該複數個光罩定位部中至少一者之凸片與光罩中間相鄰隅角之上周邊接觸；及藉由嚙合蓋部與基部，滑動迫使該光罩進入相關於基部之期望位置。」之技術特徵，原證3亦未揭示上開技術特徵，因此該領域具有通常知識者顯然無法依據證據2結合原證3的內容來輕易完成系爭請求項19之所有技術特徵，故證據2結合原證3不足以證明系爭請求項19不具進步性。
㈣證據2結合證據6、或證據2結合原證3和證據6可否證明系爭
專利請求項2、8、14至16、20不符合專利法第22條第4項之規定？⑴證據2結合證據6、或證據2結合原證3和證據6無法證明系爭請求項2不具進步性：
1.證據2結合證據6無法證明系爭請求項2不具進步性：①系爭專利請求項2內容為：「如申請專利範圍第1項
之光罩載具，其中，各該光罩限制器包含一對配置成直角之彈力臂，各彈力臂具有一光罩嚙合部，用於嚙合光罩之一上邊緣」。
②原告雖於其起訴狀第28至29頁主張：「證據6第3欄
第5行：『蓋部2備有光罩保持件4，其適於在合攏蓋部2時朝向基部1彈性壓制光罩3』，其中如證據
6圖1A-D所示，證據6的光罩限制器包含兩對配置成直角之彈力臂，各彈力臂具有一光罩嚙合部，用於嚙合光罩之一上邊緣的角落，因此，證據6已完全揭露系爭第2項所增加之技術特徵」云云。惟查，請求項2為依附於請求項1之附屬項，包含系爭專利請求項1所有之技術特徵，證據2並未揭示系爭專利請求項1中「該光罩係可在其上橫向滑動」、「光罩定位凸片」、及「各該光罩定位凸片具有一斜角邊緣部，當該蓋部與該基部配合時，該斜角邊緣部之方向係可橫向滑動迫使該光罩與該光罩限制器嚙合，該光罩定位凸片係被定位成與該光罩之光罩中間相鄰隅角嚙合」之技術特徵，證據2不足以證明系爭請求項1不具進步性，已如前述，證據6亦未揭示上開技術特徵，證據2結合證據6不足以證明系爭專利請求項1不具進步性，故證據2結合證據6亦不足以證明系爭專利請求項2不具進步性。
2.證據2結合原證3和證據6無法證明系爭請求項2不具進步性：
證據2、原證3、證據6均未揭示「光罩定位凸片迫使光罩橫向滑動」之技術特徵，故證據2結合原證3和證據6不足以證明系爭請求項1不具進步性，因系爭專利請求項2為依附於請求項1之附屬項，包含系爭專利請求項1所有之技術特徵，故證據2結合原證3和證據6亦無法證明系爭專利請求項2不具進步性。
⑵證據2結合證據6、或證據2結合原證3和證據6無法證明系爭專利請求項8不具進步性：
⒈系爭請求項8內容為：「如申請專利範圍第6項之光罩
載具，其中，各該光罩限制器包含一對配置成直角之彈力臂，各彈力臂具有一光罩嚙合部，用於嚙合光罩之一上邊緣」。
⒉證據2並未揭示系爭專利「光罩定位凸片迫使光罩橫向
滑動」之技術特徵，已如前述，故證據2並未揭示系爭專利請求項6中「一蓋部，該蓋部具有....至少一自該內表面突出之光罩定位凸片，當該蓋部與該基部配合時，該光罩定位凸片適用於橫向滑動迫使該光罩與該光罩限制器嚙合」之技術特徵，原證3和證據6亦未揭示上開技術特徵，故證據2結合證據6、或證據2結合原證
3和證據6均無法證明系爭專利請求項6不具進步性。因系爭專利請求項8為依附於請求項6之附屬項，包含系爭專利請求項6所有之技術特徵，故證據2結合證據
6、或證據2結合原證3和證據6亦無法證明系爭專利請求項8不具進步性。
⑶證據2結合證據6、或證據2結合原證3和證據6無法證明系爭請求項14至16不具進步性：
⒈系爭請求項14、15、16內容分別為「如申請專利範圍第
12項之光罩載具，其中，該光罩定位凸片包含一具有一對相對端之彈力部件，一端係固接至該內表面，相對端則為自由端，及其中該基部具有一穴部用於容納該彈力部件之自由端」、「如申請專利範圍第12項之光罩載具，各該光罩限制器包含一對配置成直角之彈力臂，各彈力臂具有一光罩嚙合部，用於嚙合光罩之一上邊緣」、「如申請專利範圍第15項之光罩載具，其又包含至少一閂鎖機構，用於將該蓋部鎖固至該基部」。
⒉證據2並未揭示系爭專利「光罩定位凸片迫使光罩橫向
滑動」之技術特徵，故證據2並未揭示請求項12「一蓋部，該蓋部具有....用於當該蓋部與該基部配合時，橫向滑動定位光罩使其與該光罩限制器嚙合之自該內表面突出之光罩定位凸片」之技術特徵，原證3和證據6亦未揭示上開技術特徵，故證據2結合證據6、或證據2結合原證3和證據6均無法證明系爭專利請求項12不具進步性。因系爭專利請求項14至16為直接或間接依附於請求項12之附屬項，包含系爭專利請求項12所有之技術特徵，故證據2結合證據6、或證據2結合原證3和證據6亦無法證明系爭專利請求項14至16不具進步性。
⑷證據2結合證據6、或證據2結合原證3和證據6無法證明系爭專利請求項20不具進步性：
⒈系爭請求項20內容為「如申請專利範圍第19項之方法，
其中，該容器更包含：一閂鎖機構，位於蓋部上；及一對應於該閂鎖機構之凹槽，該凹槽位在基部上，用於容納該閂鎖機構以可移除地將蓋部固鎖至基部」。
⒉證據2並未揭示系爭專利「光罩定位凸片迫使光罩橫向
滑動」之技術特徵，故證據2並未揭示系爭請求項19「各光罩定位部具有一凸片；....該光罩係可在其上橫向滑動；藉由基部漸進地靠近蓋部，放置該複數個光罩定位部中至少一者之凸片與光罩中間相鄰隅角之上周邊接觸；及藉由嚙合蓋部與基部，滑動迫使該光罩進入相關於基部之期望位置。」之技術特徵，原證3和證據6亦未揭示上開技術特徵，故證據2結合證據6、或證據2結合原證3和證據6均無法證明系爭專利請求項19不具進步性。因系爭專利請求項20為依附於請求項19之附屬項，包含系爭專利請求項19所有之技術特徵，故證據2結合證據6、或證據2結合原證3和證據6亦無法證明系爭專利請求項20不具進步性。
伍、綜上，系爭專利請求項1、4至6、10至12、17至19並未違反92年專利法第26條第3項之規定；系爭專利請求項1、6、12、19並未違反92年專利法第26條第4項暨施行細則第18條第2項之規定；證據2、或證據2結合原證3無法證明系爭專利請求項1、3至7、9至13、17至19不具進步性；證據2結合證據6、或證據2結合原證3和證據6無法證明系爭專利請求項2、8、14至16、20不具進步性。原告提起舉發，為無理由，原處分為舉發不成立之審定，訴願機關為駁回訴願之決定，均無違誤。原告訴請撤銷訴願決定及原處分，並命被告就系爭專利請求項1至20為舉發成立之處分，為無理由，應予駁回。
陸、本件事證已明，兩造其餘主張或答辯及技術爭點，核與本院判決結果無影響，爰毋庸一一論述，併此敘明。
據上論結，本件原告之訴為無理由，爰依智慧財產案件審理法第1條，行政訴訟法第98條第1項前段，判決如主文。
中華民國105年8月31日
智慧財產法院第三庭
審判長法官蔡惠如
法官陳端宜法官彭洪英以上正本證明與原本無異。
如不服本判決，應於送達後20日內，向本院提出上訴狀並表明上訴理由，其未表明上訴理由者，應於提起上訴後20日內向本院補提上訴理由書；如於本判決宣示後送達前提起上訴者，應於判決送達後20日內補提上訴理由書（均須按他造人數附繕本）。
上訴時應委任律師為訴訟代理人，並提出委任書（行政訴訟法第
241條之1第1項前段），但符合下列情形者，得例外不委任律師為訴訟代理人（同條第1項但書、第2項）。
┌─────────┬────────────────┐│得不委任律師為訴訟│所需要件││代理人之情形││├─────────┼────────────────┤│(一)符合右列情形之│1.上訴人或其法定代理人具備律師資││一者，得不委任律│格或為教育部審定合格之大學或獨││師為訴訟代理人│立學院公法學教授、副教授者。│││2.稅務行政事件，上訴人或其法定代│││理人具備會計師資格者。│││3.專利行政事件，上訴人或其法定代│││理人具備專利師資格或依法得為專│││利代理人者。│├─────────┼────────────────┤│(二)非律師具有右列│1.上訴人之配偶、三親等內之血親、││情形之一，經最高│二親等內之姻親具備律師資格者。││行政法院認為適當│2.稅務行政事件，具備會計師資格者││者，亦得為上訴審│。││訴訟代理人│3.專利行政事件，具備專利師資格或│││依法得為專利代理人者。│││4.上訴人為公法人、中央或地方機關│││、公法上之非法人團體時，其所屬│││專任人員辦理法制、法務、訴願業│││務或與訴訟事件相關業務者。│├─────────┴────────────────┤│是否符合(一)、(二)之情形，而得為強制律師代理之例外，││上訴人應於提起上訴或委任時釋明之，並提出(二)所示關係││之釋明文書影本及委任書。│└──────────────────────────┘中華民國105年8月31日
書記官郭宇修