裁判字號：智慧財產法院105年民專上字第43號民事判決
裁判日期：民國106年06月22日
裁判案由：侵害專利權有關財產權爭議等
智慧財產法院民事判決
105年度民專上字第43號上訴人家登精密工業股份有限公司法定代理人 邱銘乾 訴訟代理人 楊啟元 律師被上訴人中勤實業股份有限公司法定代理人 陳延方 被上訴人 江枝茂 共同訴訟代理人 賴蘇民 律師
蘇三榮 律師 李維峻 律師上列當事人間因侵害專利權有關財產權爭議等事件，上訴人對於中華民國105年10月3日本院105年度民專訴字第23號第一審判決提起上訴，本院於106年6月1日言詞辯論終結，判決如下：
主文上訴駁回。
第二審訴訟費用由上訴人負擔。
事實及理由
壹、程序事項：
一、本院有管轄權：按依專利法、商標法、著作權法、光碟管理條例、營業秘密法、積體電路電路布局保護法、植物品種及種苗法或公平交易法所保護之智慧財產權益所生之第一審及第二審民事訴訟事件，暨其他依法律規定或經司法院指定由智慧財產法院管轄之民事事件，均由智慧財產法院管轄。對於智慧財產事件之第一審裁判不服而上訴或抗告者，向管轄之智慧財產法院為之。智慧財產法院組織法第3條第1款、第4款與智慧財產案件審理法第7條、第19條分別定有明文。職是，智慧財產第一審民事事件固非由智慧財產法院專屬管轄，其屬優先管轄之性質，得由普通法院管轄。然為統一法律見解，其上訴或抗告自應由專業之智慧財產法院受理。查本件因上訴人侵害被上訴人之專利財產權，係專利法所生之第二審民事事件，揆諸前揭說明，本院依法自有專屬管轄權。
二、被上訴人合法聲明承受訴訟：按當事人喪失訴訟能力或法定代理人死亡或其代理權消滅者，訴訟程序在有法定代理人或取得訴訟能力之本人承受其訴訟以前當然停止。第170條所定之承受訴訟人，其於得為承受時，應即為承受之聲明。他造當事人，亦得聲明承受訴訟。聲明承受訴訟，應提出書狀於受訴法院，由法院送達於他造。民事訴訟法第170條、第175條及第176條分別定有明文。查被上訴人法定代理人原為江枝茂，嗣於本件審理中變更為陳延方，經陳延方於民國106年2月7日聲明承受訴訟（見本院卷第76頁），並提出股份有限公司變更登記表及委任狀（見本院卷第53至54、87至89頁）。經兩造當事人於
106年3月10日之準備程序均同意陳延方承受訴訟（見本院卷第94頁）。職是，陳延方承受訴訟，核無不合，應予准許。
貳、實體事項：
一、上訴人主張：
(一)上訴人起訴聲明：1.被上訴人連帶應給付上訴人新臺幣（下同）10,000,000元，並自本起訴狀繕本送達翌日起至清償日止，按年息5%計算之利息。2.被上訴人不得直接或間接、自行或委請他人製造、為販賣之要約、販賣、使用或進口「ReticleSMIFPod光罩自動化傳輸盒」產品（下稱系爭產品）及其他侵害中華民國第I331123號發明專利（下稱系爭專利）產品。3.前項聲明之產品，應予回收並銷毀。4.就第一項及第二項之聲明，上訴人願供擔保請准宣告假執行。並主張如後：
1.被上訴人侵害上訴人之系爭專利：上訴人為系爭專利之專利權人，專利保護期間自99年10月1日起至117年3月5日止。被上訴人江枝茂及被上訴人中勤實業股份有限公司（下稱中勤公司，合稱被上訴人）製造販賣之系爭產品，其確具有系爭專利請求項第1、2、4、5、6項之全部技術特徵。準此，落入系爭專利申請專利範圍第1、2、4、5、6項之專利權範圍。爰依專利法第96條、第97條第1項第2款、民法第184條第1項前段、第185條及第197條及公司法第23條第2項規定，請求如起訴聲明。
2.系爭專利不具應撤銷事由：⑴請求項4至6符合專利法第26條第3項之明確性要件：
請求項4之標的為「一種可充填氣體之光罩存放裝置」，其用途在於「用以存放至少一光罩，其中光罩具有一圖案面，圖案面設有一保護件」，其結構特徵在請求項「其中存放裝置包含有：」以下有明確而詳細之具體定義。所屬技術領域中具有通常知識者可瞭解「用以存放至少一光罩，其中光罩具有一圖案面，圖案面設有一保護件」，係定義存放裝置之用途，而非存放裝置之結構，並無任何不明確處。
⑵請求項4至6符合專利法第26條第4項授權規定：
①就入氣埠之技術特徵而言，被上訴人承認系爭專利說明書已
指明「可充填氣體之光罩存放裝置」，至少會有相當於入氣埠之構造。請求項4之標的為「一種可充填氣體之光罩存放裝置」，所屬技術領域中具有通常知識者，在參閱系爭專利說明書下，自可瞭解請求項4「可充填氣體之光罩存放裝置」，具有相當於入氣埠之構造，或具有其他可使光罩存放裝置充填氣體之構造。準此，請求項4並無欠缺必要技術特徵可言。
②「第一接合件，固接於第一蓋體之周邊」與「第二接合件，
固設於第二蓋體」，可保持存放裝置之氣密性之必要技術特徵。因系爭專利指明藉由「一第一接合件，固接於第一蓋體之周邊」、「一第二接合件，固設於第二蓋體，用以與第一接合件接合，且與第一接合件接合之部分為懸空」技術特徵，達成「存放裝置中過多之氣體，可從可洩壓接合件間逸出，但是存放裝置中氣體未超過一預先設定值時，接合件可保持存放裝置之氣密性，並達到防塵之功效」。並無被上訴人主張之技術特徵欠缺情形。
⑶請求項4相較於被證7具有進步性：
①被證7未揭露請求項4「一第二接合件，固設於第二蓋體，
用以與第一接合件接合，且與第一接合件接合之部分為懸空」技術特徵：被證7揭露之實施例，除第六實施例之外，所有其餘實施例之接合件，如最佳實施例之gasket55、57；第二實施例之gasket120；第三實施例之sealingmaterial180；第四實施例之sealingmaterial200；第五實施例之sealingmaterial200，均夾置於第一蓋體與第二蓋體間，並同時接觸第一蓋體與第二蓋體。第一蓋體與第二蓋體間僅有一個接合件。無系爭專利「藉由設於第一蓋體之第一接合件與設於第二蓋體之第二結合件相接合而密封」，使用兩個接合件相接合之技術思想。亦無藉由任何結構達成「存放裝置中過多之氣體，可從可洩壓接合件間逸出，但是存放裝置中氣體未超過一預先設定值時，接合件可保持存放裝置之氣密性，並達到防塵之功效」明示或暗示。
②被證7僅於第六實施例，雖有揭露第一接合件及第二接合件
。然被證7第10欄第54至60行載明：機械彈簧裝置(260)置入溝槽(258)內並環繞盒門(252)之全週，對內襯(256)施力以將內襯推向盒(250)。被上訴人所主張之第六實施例，第二接合件與第一接合件結合之部分並非懸空，而是受機械彈簧裝置頂持並推向第一蓋體。準此，被證7至少未揭露請求項4「一第二接合件，固設於第二蓋體，用以與第一接合件接合，且與第一接合件接合之部分為懸空」技術特徵，亦無「存放裝置中過多之氣體可，從可洩壓接合件間逸出，但存放裝置中氣體未超過一預先設定值時，接合件可保持存放裝置之氣密性，並達到防塵之功效」明示或暗示。
③被上訴人承認密封材料(180)，係用以提供一使箱(72)內部
空間(71)與周遭環境隔絕之密封。足證被上訴人無法否認被證7無系爭專利「藉由設於第一蓋體之第一接合件與設於第二蓋體之第二結合件相接合而密封」技術思想。亦無任何「存放裝置中過之的氣體，可從可洩壓接合件間逸出，但是存放裝置中氣體未超過一預先設定值時，接合件可保持存放裝置之氣密性，並達到防塵之功效」明示或暗示。職是，被證
7未揭露請求項4之技術特徵，更遑論藉由未揭露之技術特徵完成請求項4整體內容之教示、建議或動機，足認請求項
4相對於被證7具有進步性。⑷請求項4相對於被證7與9之組合具有進步性：
①被證7至少未揭露請求項4「一第二接合件，固設於第二蓋
體，用以與第一接合件接合，且與第一接合件接合之部分為懸空」技術特徵，亦無藉由任何結構達成「存放裝置中過多之氣體，可從可洩壓接合件間逸出，但存放裝置中氣體未超過一預先設定值時，接合件可保持存放裝置之氣密性，並達到防塵之功效」明示或暗示。
②被證9未揭露請求項4「一第二接合件，固設於第二蓋體，
用以與第一接合件接合，且與第一接合件接合之部分為懸空」技術特徵。被上訴人指明被證9記載：當墊片(2)或抵持部(421)表面有不平整之狀況發生時，墊片與抵持部會因盒子四周面積分佈，各部分受到不同之壓力，使其自動調整而可相互緊密配合，使底座(1)與內襯(42)所形成之密閉空間有著極佳之氣密性。準此，被證9揭露之技術係在各種狀態下皆提供極佳之氣密性，顯然與系爭專利「存放裝置中過多之氣體，可從可洩壓接合件間逸出，但是存放裝置中氣體未超過一預先設定值時，接合件可保持存放裝置之氣密性，並達到防塵之功效」技術思想相違，其屬系爭專利之反向教示，足證系爭專利具備進步性。
③被證7與被證9欠缺結合之教示、建議或動機，因被證7與
被證9至少均未揭露「一第二接合件，固設於第二蓋體，用以與第一接合件接合，且與第一接合件接合之部分為懸空」技術特徵，亦均無藉由任何結構達成「存放裝置中過多之氣體，可從可洩壓接合件間逸出，但是存放裝置中氣體未超過一預先設定值時，接合件可保持存放裝置之氣密性，並達到防塵之功效」明示或暗示。不僅欠缺任何教示、建議或動機，被證9之反向教示更造成被證7與被證9互不相容，無法結合。否則即喪失被證9「在各種狀態下均提供極佳之氣密性」功效與目的。所屬技術領域中具有通常知識者，無法藉由結合被證7與被證9而完成請求項4之發明。職是，請求項4相對於被證7與被證9之結合，具有進步性。
⑸請求項4相對於被證5與被證7之組合具有進步性：
①被證5未揭露請求項4「一第一接合件，固接於第一蓋體之
之周邊」、「一第二接合件，固設於第二蓋體，用以與第一接合件接合，且與第一接合件接合之部分為懸空」技術特徵：被證5倒數第4行載明：密封墊(184)環繞門表面(136)之上週邊(172)。密封墊夾置於第一蓋體(112)與第二蓋體間，第一蓋體並未設置任何第一接合件。準此，被證5未揭露「一第一接合件，固接於第一蓋體之周邊」技術特徵，亦未揭露「一第二接合件，固設於第二蓋體，用以與第一接合件接合，且與第一接合件接合之部分為懸空」技術特徵，亦無藉由任何結構達成「存放裝置中過多之氣體可從可洩壓接合件間逸出，但是存放裝置中氣體未超過一預先設定值時，接合件可保持存放裝置之氣密性，並達防塵之功效」明示或暗示。
②被證7至少未揭露請求項4「一第二接合件，固設於第二蓋
體，用以與第一接合件接合，且與第一接合件接合之部份係為懸空」技術特徵，亦無藉由任何結構達成「存放裝置中過多之氣體可從可洩壓接合件之間逸出，但是存放裝置中氣體未超過一預先設定值時，接合件可保持存放裝置之氣密性，並達到防塵之功效」明示或暗示。
③被證5與被證7欠缺結合之教示、建議或動機，因被證5與
被證7均未揭露「一第二接合件，固設於第二蓋體，用以與該第一接合件接合，且與第一接合件接合之部份係為懸空」技術特徵，亦均無藉由任何結構達成「存放裝置中過多之氣體可從該可洩壓接合件間逸出，但存放裝置中氣體未超過一預先設定值時，接合件可保持存放裝置之氣密性，並達到防塵之功效」明示或暗示。其於欠缺教示、建議或動機，所屬技術領域中具有通常知識者，無法藉由結合被證5與被證7而完成請求項4之發明。職是，請求項4相對於被證5與被證7之結合具有進步性。
⑹請求項4較被證5至7之組合具有進步性：
①被證6未揭露請求項4「一第一接合件，固接於第一蓋體之
周邊」、「一第二接合件，固設於第二蓋體，用以與第一接合件接合，且與第一接合件接合之部分為懸空」技術特徵：被證6未揭露密封結構、第一接合件或第二接合件。更遑論藉由任何結構達成「存放裝置中過多之氣體，可從可洩壓接合件間逸出，但是存放裝置中氣體未超過一預先設定值時，接合件可保持該存放裝置之氣密性，並達到防塵之功效」明示或暗示。
②被證5、被證6與被證7欠缺結合之教示、建議或動機，在
欠缺任何教示、建議或動機，所屬技術領域中具有通常知識者無法藉由結合被證5、被證6與被證7而完成請求項4之發明。準此，請求項4相對於被證5、被證6與被證7之結合具有進步性。
⑺請求項5相對於被證7具有進步性：
請求項5依附於請求項4，因請求項4相對於被證7具有進步性，請求項5相對於被證7具有進步性。申言之，被證7未揭露請求項5所增加之技術特徵「其中第一蓋體具有一第一板件可將該第一接合件夾持」，就被上訴人原先主張之第一接合件(264)，被證7揭露第一接合件可緊配置入而固持於溝槽(265)，可藉由黏接劑黏合，或一體成型於第一蓋體上。職是，被證7未揭露請求項5所增加「其中第一蓋體具有一第一板件可將第一接合件夾持」技術特徵。被上訴人先主張密封材料(180)相當於第二接合件，嗣後主張其為第一接合件，顯然自相矛盾。職是，被證7未揭露請求項5所增加之技術特徵，請求項5相對於被證7顯然具有進步性。
⑻請求項5相對於被證7與被證9之組合具有進步性：
①請求項5依附於請求項4，因請求項4相對於被證7與被證
9之組合具有進步性，請求項5相對於被證7與被證9之組合具有進步性。質言之，被證9未揭露請求項5所增加之技術特徵「其中第一蓋體具有一第一板件可將第一接合件夾持」，故被證9未揭露第一接合件與第一蓋體間之接合結構。
準此，未揭露請求項5所增加「其中第一蓋體具有一第一板件可將第一接合件夾持」。
②被證7及被證9皆未揭露請求項5所增加之技術特徵，亦未
揭露請求項5所依附請求項4之技術特徵。被證9更反向教示必須在各種狀態，均提供極佳之氣密性，其與系爭專利有異。被證7與被證9互不相容，無法結合。所屬技術領域中具有通常知識者，無法據被證7與被證9輕易完成請求項5。職是，請求項5相對於被證7與被證9之組合，具有進步性。
⑼請求項5相對於被證5與被證7之組合具有進步性：
①請求項5依附於請求項4，因請求項4相對於被證5與被證
7之組合具有進步性，請求項5相對於被證5與被證7之組合具有進步性。申言之，被證5未揭露請求項5所增加之技術特徵「其中第一蓋體具有一第一板件可將第一接合件夾持」：被證5未揭露任何接合件與蓋體之結合結構或方式，更遑論揭露請求項5增加「其中第一蓋體具有一第一板件可將第一接合件夾持」技術特徵。
②被證7未揭露請求項5所增加之技術特徵「其中第一蓋體具
有一第一板件可將第一接合件夾持」，被證7雖揭露第一接合件可緊配置入而固持於溝槽(265)，可藉由黏劑黏合，或一體成型於第一蓋體上，然被證7並未揭露請求項5所增加「其中第一蓋體具有一第一板件可將第一接合件夾持」技術特徵。
③因被證5與被證7均未揭露請求項5所增加之技術特徵，顯
然欠缺結合被證5與被證7之教示、建議或動機。準此，所屬技術領域中具有通常知識者，無法藉由結合被證5與被證
7而完成請求項5之發明。⑽請求項5較被證5、6、7之組合具有進步性：
請求項5依附於請求項4，因請求項4相對於被證5與被證
6與被證7之組合具有進步性，請求項5相對於被證5與被證6與被證7之組合具有進步性。質言之，被證6未揭露請求項5所增加之技術特徵「其中第一蓋體具有一第一板件可將第一接合件夾持」：被證6除未揭露接合件外，亦未揭露接合件與蓋體之結合結構或方式，或請求項5所增加之技術特徵。因被證5、被證6與被證7均未揭露請求項5所增加之技術特徵，欠缺結合被證5、被證6與被證7之教示、建議或動機。準此，所屬技術領域中具有通常知識者，無法藉由結合被證5、被證6與被證7而完成請求項5之發明。
⑾請求項6相對於被證7之組合具有進步性：
請求項6依附於請求項4，因請求項4相對於被證7具有進步性，請求項6相對於被證7具有進步性。詳言之，被證7未揭露請求項6所增加之技術特徵「其中第二蓋體具有一第二板件可將第二接合件夾持」：被上訴人亦自認被證7揭露之第二接合件(180)與襯墊(150)係一體模造結合。襯墊與第二蓋體(74)進一步之結合結構，則未有揭露。故被證7未揭露請求項6所增加之技術特徵「其中第二蓋體具有一第二板件可將第二接合件夾持」。職是，被證7未揭露請求項6所增加之技術特徵，請求項6相對於被證7具有進步性。
⑿請求項6相對於被證7與被證9之組合具有進步性：
請求項6依附於請求項4，因請求項4相對於被證7與被證
9之組合具有進步性，請求項6當然相對於被證7與被證9之組合具有進步性。被證7與被證9無法結合，除未揭露請求項6及其所依附請求項4之技術特徵外，被證9亦反向教示必須在各種狀態，均提供極佳之氣密性，其與系爭專利背道而馳。被證7與被證9互不相容，無法結合。所屬技術領域中具有通常知識者，無法據被證7與被證9輕易完成請求項6。準此，請求項6相對於被證7與被證9之組合，具有進步性。
⒀請求項6相對於被證7與被證9之組合具有進步性：
請求項6依附於請求項4，因請求項4相對於被證7與被證
9之組合具有進步性，請求項6相對於被證7與被證9之組合具有進步性。申言之，被證7與被證9無法結合，除未揭露請求項6及其所依附請求項4之技術特徵外，被證9亦反向教示必須在各種狀態，均提供極佳之氣密性，其與系爭專利背道有異。被證7與被證9互不相容，無法結合。所屬技術領域中具有通常知識者，無法據被證7與被證9輕易完成請求項6。職是，請求項6相對於被證7與被證9之組合，具有進步性。
⒁請求項6相對於被證5與被證7之組合具有進步性：
①請求項6依附於請求項4，因請求項4相對於被證5與被證
7之組合具有進步性，請求項6相對於被證5與被證7之組合具有進步性。質言之，被證5未揭露請求項6所增加之技術特徵「其中第二蓋體具有一第二板件可將第二接合件夾持」：被證5除未揭露任何接合件與蓋體之結合結構或方式外，亦未揭露請求項6所增加「其中第二蓋體具有一第二板件可將第二接合件夾持」技術特徵。
②被證7未揭露請求項6所增加之技術特徵「其中第二蓋體具
有一第二板件可將該第二接合件夾持」，被證7未揭露其與第二蓋體之結合方式或結構，更遑論揭露請求項6所增加「其中第二蓋體具有一第二板件可將該第二接合件夾持」技術特徵。因被證5與被證7均未揭露請求項6所增加之技術特徵，欠缺結合被證5與被證7之教示、建議或動機。準此，所屬技術領域中具有通常知識者，無法藉由結合被證5與被證7而完成請求項6之發明。
⒂請求項6較被證5、6、7之組合具有進步性：
①請求項6依附於請求項4，因請求項4相對於被證5與被證
6與被證7之組合具有進步性，請求項6相對於被證5與被證6與被證7之組合具有進步性。被證6未揭露請求項6所增加之技術特徵「其中第二蓋體具有一第二板件可將該第二接合件夾持」：被證6除未揭露任何接合件外，亦未揭露接合件與蓋體之結合結構或方式，或是請求項5所增加之技術特徵。
②因被證5、被證6與被證7均未揭露請求項6所增加之技術
特徵，顯然欠缺結合被證5、被證6與被證7之教示、建議或動機。準此，所屬技術領域中具有通常知識者，無法藉由結合被證5、被證6與被證7而完成請求項6之發明。
(二)原審為上訴人全部敗訴之判決，上訴人提起上訴並聲明：1.原判決廢棄。2.被上訴人應連帶給付上訴人10,000,000元，並自本起訴狀繕本送達翌日起至清償日止，按年息5%計算之利息。3.被上訴人不得直接或間接、自行或委請他人製造、為販賣之要約、販賣、使用或進口系爭產品及其他侵害系爭專利之產品，並應予回收並銷毀。4.第一審、第二審訴訟費用由被上訴人負擔。5.就第二項之聲明，上訴人願供擔保請准宣告假執行。並主張如後：
1.系爭產品落入請求項4至6之權利範圍：⑴系爭產品所存放之光罩其圖案面設有保護件：
以所屬技術領域中具有通常知識者之合理理解，系爭專利載明「用以存放至少一光罩，其中光罩具有一圖案面，圖案面設有一保護件」，解釋上應認符合下列兩點，即已實現要件4a：①系爭專利「光罩存放裝置」係用以存放「光罩」；②存放於「光罩存放裝置」，其中光罩，「具有一圖案面，圖案面設有一保護件」。系爭產品用於半導體廠，半導體廠所使用之光罩，確實具有一圖案面，圖案面設有一保護件。準此，必要時應函詢半導體廠查明。
⑵系爭產品之第二接合件與第一接合件接合部分為懸空：
系爭產品之第二接合件週邊翹起，其與第一接合件接合之部分為懸空，此查明系爭產品即可知悉，故必要時應函詢半導體廠。準此，系爭產品確已實現要件4e之技術特徵。
⑶系爭產品落入系爭專利請求項4至6之權利範圍：
請求項4之其餘技術特徵4b、4c、4d均為系爭產品所實現，，系爭產品已實現請求項4之4a、4b、4c、4d、4e之全部技術特徵。職是，落入請求項4之專利權範圍。因系爭產品實現系爭專利請求項5、6所增加之技術特徵，亦落入系爭專利請求項5、6之權利範圍。
2.系爭專利請求項4至6未違反專利法第26條第3項：系爭專利請求項4記載「一種可充填氣體之光罩存放裝置，用以存放至少一光罩，其中光罩具有一圖案面，圖案面設有一保護件，其中存放裝置包含有」，可得知系爭專利請求項
4之標的為「一種可充填氣體之光罩存放裝置」，「用以存放至少一光罩」僅針對系爭專利之用途標的物之附加說明，其並非對於系爭專利之發明之任一技術特徵作明確之界定；而圖案面之保護件並非附屬於習知光罩之必然結構，且依據系爭專利說明書第7頁第7至9行記載，可得知系爭專利之保護件，對於置放於該存放裝置之光罩能夠產生特定功效，且系爭專利藉由保護件與存放裝置之交互作用而產生該功效，故「保護件」應視為系爭專利之必要技術特徵。而系爭專利請求項4敘明保護件係設於光罩之圖案面，所屬技術領域中具有通常知識者，能夠瞭解保護件與該存放裝置之對應關係，故系爭專利請求項4之記載並無不明確之情事。準此，系爭專利請求項4至6未違反系爭專利核准時專利法第26條第3項規定。
3.系爭專利請求項4至6未違反專利法第26條第4項：⑴請求項4之記載符合充分揭露要件：
系爭專利請求項4記載其標的為「一種可充填氣體之光罩存放裝置」，且習知可充填氣體之光罩存放裝置，必然存在相當於入氣埠之結構，故所屬技術領域中具有通常知識者，應可瞭解系爭專利之光罩存放裝置具有相當於入氣埠之結構，故系爭專利請求項4實質隱含「入氣埠」技術特徵，並無欠缺。
⑵系爭專利請求項4記載未違專利法施行細則第18條第2項：
專利說明書第7頁第3段記載：其中，重要者是在第一蓋體與第二蓋體之周邊分別固接第一接合件(41)與第二接合件(42)，此等接合件之材質可具有彈性，或者使第二接合件，其與第一接合件接合部分(43)保持懸空，故光罩存放裝置本身因接合件間之彈性或懸空，可在光罩存放裝置內部空間氣體過多造成壓力過大時，氣體將可從接合件間洩出，內部空間可保持適當壓力以避免光罩傷害；當氣壓未超過預先設定值時，接合件為氣密接合狀態，保持更佳之氣密性，達成防止氣體洩漏以及防塵之效果。可得知第一接合件及第二接合件之一種實施例，使其接合部分保持懸空，在光罩存放裝置在內部空間氣體過多、造成壓力過大時，氣體可從懸空之接合部分洩出，而氣壓未過大時，第一接合件及第二接合件則保持氣密，系爭專利請求項4記載「一第一接合件，固接於第一蓋體之周邊；暨一第二接合件，固設於第二蓋體，用以與第一接合件接合，且與該第一接合件接合之部份係為懸空」。其已界定第一接合件及第二接合件之具體連結關係，並未欠缺必要元件，所屬技術領域中具有通常知識者，參酌系爭專利說明書後能夠瞭解該懸空結構所對應之功效，故系爭專利請求項4記載之內容，並未欠缺實施之必要技術特徵，未違反專利法第26條第4項與施行細則第18條第2項規定。
4.被證7無法證明請求項4不具進步性：⑴請求項4之技術特徵：
系爭專利請求項4「一第一接合件，固接於第一蓋體之周邊」、「一第二接合件，固設於第二蓋體，用以與第一接合件接合，且與第一接合件接合之部分為懸空」技術特徵之作用功效；請求項4包含「一第一接合件，固接於第一蓋體之周邊」、「一第二接合件，固設於第二蓋體，用以與第一接合件接合，且與第一接合件接合之部份係為懸空」技術特徵。準此，存放裝置中過多之氣體，可從可洩壓接合件間逸出，但是存放裝置中氣體未超過一預先設定值時，接合件可保持存放裝置之氣密性，並達到防塵之功效。
⑵被證7未揭露之技術特徵：
被證7未揭露請求項4「一第二接合件，固設於第二蓋體，用以與第一接合件接合，且與第一接合件接合之部分為懸空」技術特徵。被證7揭露之實施例，並無系爭專利「藉由設於第一蓋體之第一接合件與設於第二蓋體之第二結合件相接合而密封」，使用兩個接合件相接合之技術思想。亦無藉由任何結構達成「存放裝置中過多之氣體，可從可洩壓接合件間逸出，但是存放裝置中氣體未超過一預先設定值時，接合件可保持存放裝置之氣密性，並達到防塵之功效」任何明示或暗示。至被證7未揭露請求項4之技術特徵，更遑論藉由該未揭露之技術特徵完成請求項4整體內容之教示、建議或動機。準此，請求項4相對於被證7具有進步性。
5.被證7無法證明請求項5與6不具進步性：⑴被證7無法證明請求項5不具進步性：
被證7未揭露請求項5所增加之技術特徵「其中第一蓋體具有一第一板件可將第一接合件夾持」。被證7第三實施例而言，未揭露第一接合件，更遑論揭露第一接合件與第一蓋體之接合結構。職是，被證7未揭露請求項5所增加「其中第一蓋體具有一第一板件可將第一接合件夾持」技術特徵。自無從藉被證7而主張或證明請求項5不具進步性。
⑵被證7無法證明請求項6不具進步性：
被證7未揭露請求項6所增加之技術特徵「其中第二蓋體具有一第二板件可將第二接合件夾持」。因被上訴人自認被證
7揭露之第二接合件(180)與襯墊(150)係一體模造結合。襯墊與第二蓋體(74)進一步之結合結構，則被證7未有揭露。
6.被證7與9之組合無法證明請求項4至6不具進步性：⑴被證9無法證明請求項4不具進步性：
被證9未揭露請求項4「一第二接合件，固設於第二蓋體，用以與第一接合件接合，且與該第一接合件接合之部分為懸空」技術特徵。按被證9第7圖、第11圖及說明書第15頁倒數第4行至第16頁第6行記載內容可知，顯見系爭專利「第一接合件」、「第一蓋體」、「第二接合件」及「第二蓋體」技術特徵，雖對應於被證9「內襯」、「蓋體」、「墊片」及「底座」技術內容。然被證9未揭露「第二接合件與第一接合件接合之部份係為懸空」技術特徵。
⑵被證9對系爭專利明確作出反向教示：
被證9揭露之技術係「在各種狀態下均提供極佳之氣密性」，顯然與系爭專利「存放裝置中過多之氣體，得從可洩壓接合件間逸出，但是存放裝置中氣體未超過一預先設定值時，接合件可保持存放裝置之氣密性，並達到防塵之功效」技術思想背道相違，故屬系爭專利之反向教示，足證明系爭專利具備進步性。
⑶被證7與被證9欠缺結合之教示或動機：
被證7與被證9均未揭露「一第二接合件，固設於第二蓋體，用以與第一接合件接合，且與第一接合件接合之部分為懸空」技術特徵，亦均無藉由任何結構達成「存放裝置中過多之氣體，可從可洩壓接合件間逸出，但是存放裝置中氣體未超過一預先設定值時，接合件可保持存放裝置之氣密性，並達到防塵之功效」明示或暗示。不僅欠缺任何教示、建議或動機，被證9之反向教示更造成被證7與被證9互不相容，無法結合。否則即喪失被證9「在各種狀態下均提供極佳之氣密性」功效與目的。所屬技術領域中具有通常知識者，無法藉由結合被證7與被證9而完成請求項4之發明。
⑷被證7與9之組合無法證明請求項5與6不具進步性：
被證9未揭露第一接合件與第一蓋體間之接合結構，故未揭露請求項5所增加「其中第一蓋體具有一第一板件可將第一接合件夾持」技術特徵。且被證9因反向教示而無法與被證
7結合。請求項5、6除因依附於請求項4而當然具備進步性外，亦因被證7、9無法結合。縱使強行結合，亦無法得知被證7、9均未揭露請求項5所增加之技術特徵。
7.被證5與7之組合無法證明請求項4至6不具進步性：⑴被證5與7之組合無法證明請求項4不具進步性：
被證5未揭露請求項4「一第一接合件，固接於第一蓋體之周邊」、「一第二接合件，固設於第二蓋體，用以與第一接合件接合，且與第一接合件接合之部分為懸空」技術特徵。被證5揭露之第二接合件設置於第二蓋體上表面之週邊。該密封墊夾置於第一蓋體與第二蓋體間，第一蓋體並未設置任何第一接合件。
⑵被證5與被證7欠缺結合之教示或動機：
被證5與被證7均未揭露「一第二接合件，固設於第二蓋體，用以與第一接合件接合，且與第一接合件接合之部分為懸空」技術特徵，亦均無藉由任何結構達成「存放裝置中過多之氣體，得從可洩壓接合件間逸出，但是存放裝置中氣體未超過一預先設定值時，接合件可保持存放裝置之氣密性，並達到防塵之功效」明示或暗示。在欠缺任何教示、建議或動機，所屬技術領域中具有通常知識者，無法藉由結合被證5與被證7而完成請求項4之發明。縱使強行組合被證5與被證7，仍無從推知被證5與被證7均未揭露之請求項4「一第二接合件，固設於第二蓋體，用以與第一接合件接合，且與該第一接合件接合之部分為懸空」技術特徵。
⑶被證5與7之組合無法證明請求項5與6不具進步性：
被證5未揭露任何接合件與蓋體之結合結構或方式，更遑論揭露請求項5所增加「其中第一蓋體具有一第一板件可將第一接合件夾持」、請求項6所增加「其中第二蓋體具有一第二板件可將第二接合件夾持」技術特徵。請求項5、6除因依附於請求項4而當然具備進步性外，亦因被證5、7無法結合。縱使強行結合，仍無法得知被證5、7均未揭露請求項5、6所增加之技術特徵。
8.被證5、6、7之組合無法證明請求項4至6不具進步性：⑴被證5至7之組合無法證明請求項4不具進步性：
被證6未揭露請求項4「一第一接合件，固接於第一蓋體之周邊」、「一第二接合件，固設於第二蓋體，用以與第一接合件接合，且與第一接合件接合之部分為懸空」技術特徵。被證6未揭露密封結構、第一接合件或第二接合件。更遑論藉由任何結構達成「存放裝置中過多之氣體，可從可洩壓接合件間逸出，但是存放裝置中氣體未超過一預先設定值時，接合件可保持該存放裝置之氣密性，並達到防塵之功效」明示或暗示。
⑵被證5至7欠缺結合之教示或動機：
在欠缺任何教示、建議或動機，所屬技術領域中具有通常知識者無法藉由結合被證5、被證6與被證7而完成請求項4之發明。即使強行組合被證5、6、7，亦無從推知被證5、6、7均未揭露之請求項4「一第二接合件，固設於第二蓋體，用以與第一接合件接合，且與第一接合件接合之部份係為懸空」技術特徵。
⑶被證5至7之組合無法證明請求項5與6不具進步性：
被證6未揭露任何接合件，更遑論揭露接合件與蓋體之結合結構或方式，或是請求項5、6所增加之技術特徵。請求項
5、6除因依附於請求項4而具備進步性外，亦因被證5、6、7無法結合；縱使強行結合，仍無法得知被證5、6、7皆未揭露的請求項5、6所增加之技術特徵。
9.組合被證9與被上證1、2無法證明請求項4至6不具進步性：⑴被上證1與2無法證明請求項4不具進步性：
被上證1、被上證2未揭露請求項4「一第二接合件，固設於第二蓋體，用以與第一接合件接合，且與第一接合件接合之部份係為懸空」技術特徵。被上證1之可拋棄式襯墊，係於94年7月製造，故因經久而變形之可能性極高，實際觀察被上證1之可拋棄式襯墊，亦可知其確有明顯之碰撞變形，故無法藉以猜測其原有之形狀與結構。再者，被上證1之可拋棄式襯墊，明顯標示其係實施被上證2專利(US4,739,882)產品。準此，被上證1可拋棄式襯墊原有之形狀、結構及其與第一蓋體、第二蓋體間之配合關係，必然與被上證2專利相符，否則難謂其係實施被上證2專利之產品。被上證2圖6亦顯示襯墊緊密夾持於第一蓋體與第二蓋體間，並非懸空；且襯墊之脣部(206)符合凸緣(212)形狀，而充滿第一蓋體與第二蓋體間形成之間隙，底座(201)凸緣緊密配合達可「強化足以防塵之密封」程度。由被上證2圖8亦可知，在第一蓋體與第二蓋體緊密夾持襯墊前，襯墊平貼於第二蓋體之表面，並無任何懸空處。
⑵被上證1、2對系爭專利作出反向教示：
被上證1、2揭露之技術係「在各種狀態下均提供極佳之氣密性，以強化足以防塵之密封」，顯然與系爭專利「存放裝置中過多之氣體，得從可洩壓接合件間逸出，但是存放裝置中氣體未超過一預先設定值時，接合件可保持存放裝置之氣密性，並達到防塵之功效」技術思想有異，故屬系爭專利之反向教示，足證明系爭專利具備進步性。
⑶被證9與被上證1與2欠缺結合之教示或動機：
被證9與被上證1、2均未揭露「一第二接合件，固設於第二蓋體，用以與第一接合件接合，且與第一接合件接合之部分為懸空」技術特徵，亦均無藉由任何結構達成「存放裝置中過多之氣體，可從可洩壓接合件間逸出，惟存放裝置中氣體未超過一預先設定值時，接合件可保持存放裝置之氣密性，並達到防塵之功效」明示或暗示。不僅欠缺任何教示、建議或動機，被證9及被上證1、2均反向教示，顯無法結合以完成系爭專利。否則即喪失被證9及被上證1、2「在各種狀態下均提供極佳之氣密性」功效與目的。準此，所屬技術領域中具有通常知識者，無法藉由結合被證9與被上證
1、2而完成請求項4之發明。⑷組合被證9與被上證1、2無法證明請求項5、6不具進步性：
被上證1未揭露第一蓋體上的第一接合件，更遑論揭露其結合之具體結構。請求項5、6除因依附於請求項4而當然具備進步性外，亦因被證9、被上證1、2無法結合；縱使強行結合，亦至少無法得知被證9、被上證1、2均未揭露之請求項5所增加之技術特徵。
⒑組合被證6、9與被上證1、2無法證明請求項4至6無進步性：
⑴組合被證6、9與被上證1、2無法證明請求項4不具進步性：
被證9、被上證1、2揭露之技術與系爭專利「存放裝置中過多之氣體，可從可洩壓接合件間逸出，但是存放裝置中氣體未超過一預先設定值時，接合件可保持存放裝置之氣密性，並達到防塵之功效」技術思想有異，故屬系爭專利之反向教示，足證明系爭專利具備進步性。職是，被證6、9及被上證1、2不僅欠缺任何教示、建議或動機，被證9及被上證1、2均反向教示，顯無法結合以完成系爭專利。縱使強行組合被證6、9及被上證1、2，仍無從推知被證6、9及被上證1、2均未揭露之請求項4「一第二接合件，固設於第二蓋體，用以與第一接合件接合，且與第一接合件接合之部分為懸空」技術特徵。
⑵組合被證6、9及被上證1、2無法證明請求項5與6無進步性：
請求項5、6除因依附於請求項4而具備進步性外，亦因被證6、9及被上證1、2無法結合；縱使強行結合，仍無法得知被證6、9及被上證1、2均未揭露之請求項5所增加之技術特徵。
二、被上訴人答辯聲明：㈠上訴人之訴駁回。㈡訴訟費用由上訴人負擔。㈢如受不利判決，被上訴人願供擔保請准免予假執行。並答辯如後：
(一)系爭產品未落入系爭專利範圍：
1.系爭產品未侵害光罩具有圖案面之一保護件：倘無保護件，則無法藉由氣流的導引將保護件上之濕氣與髒污帶走，亦無法保護光罩圖案面不被雜質污染，光罩圖案面「保護件」為系爭專利不可或缺之一環，「保護件」要件限定，賦予系爭專利生命力、意義及活力。故「光罩具有一圖案面，圖案面設有一保護件」，為實現系爭專利發明目的「必要技術特徵」之一。再者，依據專利侵害鑑定要求之全要件原則，既然系爭專利將「光罩具有一圖案面，圖案面設有一保護件」，列入申請專利範圍，在侵權比對時亦應確認受比對物品含有此要件，始有可能構成侵權。準此，系爭產品不僅未見任何光罩存放於光罩盒中，亦未指示或要求放入盒內之光罩必須有一保護件設於圖案面，是系爭產品未落入系爭專利請求項4「光罩具有一圖案面，圖案面設有一保護件」技術要件。
2.系爭產品未符合全要件原則：⑴所謂全要件原則，係指請求項中每一技術特徵完全對應表現
在待鑑定對象，包括文義之表現及均等之表現。因系爭產品未見任何光罩存在，亦未有「擺放之光罩須有圖案面且其上有保護件」明確指示或要求，系爭專利請求項4「光罩具有一圖案面，圖案面設有一保護件」技術特徵，並未對應表現於系爭產品，應認系爭產品不侵害系爭專利請求項4之文義與均等範圍。
⑵系爭專利請求項4「與第一接合件接合之部分為懸空」，應
指「第一接合件與第二接合件之接合部分不接觸第一蓋體及第二蓋體」，始能為系爭專利說明書第五A圖及第五B圖所支持，亦能達到系爭專利說明書所述於氣體壓力過大時，將氣體從接合件接合處洩出的功效。因系爭產品之第一接合件係完全與第一蓋體緊密貼合，未如系爭專利說明書第五A圖及第五B圖所示「第一接合件外側未貼合第一蓋體」，故當然無以呈現「第一接合件與第二接合件之接合部分，不接觸第一蓋體及第二蓋體」懸空狀態，其未落入系爭專利請求項
4「且與第一接合件接合之部分為懸空」文義。
(二)被證5至7與9之組合均得證明系爭專利不具進步性：
1.被證7揭露系爭專利技術特徵：系爭專利請求項4之要件4D與4E「一第一接合件，固接於第一蓋體之周邊；暨一第二接合件，固設於第二蓋體，用以與第一接合件接合，且與第一接合件接合之部分為懸空」技術特徵，其揭露於被證7。可知系爭專利請求項7進一步界定第一接合件與第一蓋體可為一體成型，其表示系爭專利請求項4第一接合件與第一蓋體「固接」方式，包含一體成型之固接模式。準此，被證7之第一接合件與箱(72)為「一體成型，其與系爭專利說明書之圖式雖稍有差異，惟足認揭露系爭專利請求項4「一第一接合件，固接於第一蓋體之周邊」技術特徵。
2.被證9揭露系爭專利技術特徵：被證7圖10雖未揭露「一第一接合件，固接於第一蓋體之周邊」，然被證7圖13揭露此技術特徵。被證9揭露一種用於儲存光罩或晶圓之密封轉移容器，其與系爭專利屬於相同技術領域。參閱被證9說明書可知，當上蓋(4)設置之蓋體(41)罩覆於底座(1)時，內襯(42)所設置之抵持部(421)為會抵持於墊片(2)，使底座與內襯間形成密閉空間，且因墊片與內襯皆具有彈性變形之能力，故當墊片或抵持部表面有不平整之狀況發生時，墊片與抵持部為會因盒子四周大面積分佈，各部份受到不同壓力，使其形狀自動調整而可相互緊密之配合，使底座與內襯所形成之密閉空間有極佳氣密性，以防止外界空氣進入到密閉空間，使密閉空間內所儲存之光罩或晶圓得到更好保護。蓋體用以與底座組合形成容置空間，故蓋體相當於系爭專利之第一蓋體，底座相當於系爭專利之第二蓋體。內襯固接於蓋體內且具有抵持部用以抵持於固設在底座之墊片，使底座與內襯之間形成一密閉空間，故內襯相當於系爭專利之第一接合件，墊片相當於系爭專利之第二接合件。
(三)被證6、9及被上證1之組合足證系爭專利不具進步性：
1.系爭專利就所屬技術領域具通常知識者並無困難：系爭專利請求項5、6為請求項4之附屬項，進一步具體化技術特徵處在於「其中第一蓋體具有一第一板件可將第一接合件夾持」與「其中第二蓋體具有一第二板件可將第二接合件夾持」技術特徵，僅將就兩物件之結合方式，選擇以夾持固定之方式進行結合，對於系爭專利所屬技術領域中具有通常知識者，本屬常規技術之選擇，並無困難可言。況系爭專利說明書亦未表明「以第一板件將該第一接合件夾持」有何特殊之功效或目的。
2.被證9足證系爭專利不具進步性：被證9第7圖揭露利用壓合片（相當於第二板件）將墊片（相當於第二接合件）夾持於底座（相當於第二蓋體）。準此，參照被證9所揭露「藉由板件將接合件固定於蓋體」技術特徵，當可輕易完成系爭專利請求項5、6之所有技術內容。
(四)系爭專利違反專利法第26條第4項：
1.系爭專利申請專利範圍未記載入氣埠之技術特徵：可充填氣體之光罩存放裝置應設有至少一個入氣埠，以與供氣裝置連接，始能將氣體導入該存放裝置；或者至少要有相當於入氣埠之構造，即可供氣體導入存放裝置之構造。因系爭專利請求項4界定之光罩存放裝置所包含結構，並無入氣埠或任何可供氣體導入存放裝置之構造。易言之，系爭專利請求項4並未記載能使光罩存放裝置填充氣體之必要技術特徵，致所屬技術領域具有通常知識者，無法由請求項所記載之內容直接得知或無歧異推知，氣體如何進入其所界定的光罩存放裝置，而多餘氣體在進入存放裝置後，係經由何種途徑或機制到達第一接合件與第二接合件接合之部分，繼而由該部份排出而達到上訴人所宣稱之功效。系爭專利請求項4至6未要求入氣埠之結構特徵，當屬未記載實施之必要技術特徵。
2.系爭專利未記載可達到氣密功能之技術特徵：由基本物理原理或原則而言，一容器若欲保持其氣密性，則容器中任一元件接合處皆須能達到氣密。就系爭專利請求項
4所述內容，僅能得知第一接合件固接於第一蓋體之周邊，而第二接合件是固設於第二蓋體，而無法得知第一接合件及第二接合件本身之構造。即第一接合件及第二接合件均僅有界定元件名稱，並無實質之結構說明，故無法得知第一接合件固接於第一蓋體之周邊處及第二接合件固設於第二蓋體處之具體結構，該等固接或固設結構如何能達到保持光罩存放裝置之氣密性之功效。準此，系爭專利請求項4、5及6未記載可達到保持光罩存放裝置氣密性之必要技術特徵。
3.系爭專利未記載可達到洩壓功能之技術特徵：對所屬技術領域具有通常知識者而言，自第二接合件與該第一接合件接合之部分為懸空，無法由論理及經驗法則推導此結構，如何達到氣體過充時可洩壓功能。申言之，系爭專利請求項4包括第一接合件與第二接合件均為極其「堅硬之鐵件」，甚至是稍微堅硬而「無任何彈性」塑膠件，則縱使第二接合件與第一接合件接合之部分為懸空，氣體不可能由接合處洩出。再者，系爭專利說明書係以選擇性連接詞「或」連結「彈性」與「懸空」，顯然第一及第二接合件無須具有任何彈性，僅需接合之部分呈現懸空，即可洩出裝置內氣體。無彈性之接合件不可能僅藉由懸空洩壓。職是，系爭專利請求項4未記載「洩壓功能」必要技術特徵。
參、本院得心證之理由：
一、整理與協議簡化爭點：按受命法官為闡明訴訟關係，得整理並協議簡化爭點，民事訴訟法第270條之1第1項第3款、第463條分別定有明文。法院於言詞辯論期日，依據兩造主張之事實與證據，經簡化爭點協議，作為本件訴訟中攻擊與防禦之範圍。茲說明如後：
(一)當事人不爭執事項：整理不爭執事項如後：1.上訴人為系爭專利之專利權人。2.被上訴人中勤公司製造樣品，並向客戶台灣積體電路製造股份有限公司（下稱台積電公司）提供系爭產品。
(二)當事人主要爭點：
1.充分揭露要件：系爭專利請求項4至6是否違反系爭專利核准時專利法第26條第3項之規定，有不明確而有應撤銷之事由？系爭專利請求項4至6是否違反系爭專利核准時專利法第26條第4項與專利法施行細則第18條第2項規定，有未記載實施之必要技術特徵而有應撤銷之事由？
2.進步性要件：當事人爭執系爭專利請求項第4至6不具進步性事由如後：
⑴被證7是否可證明系爭專利請求項第4至6不具進步性？⑵被證7、9之組合，是否可證明系爭專利請求項第4至6不具進步性？⑶被證5、7之組合，是否可證明系爭專利請求項第4至6不具進步性？⑷被證5、6、7之組合，是否可證明系爭專利請求項第4至6不具進步性？⑸被證9與上證1之組合，可否證明系爭專利請求項4至6不具進步性？⑹被證9、被證6及被上證1之組合，可否證明系爭專利請求項4至6不具進步性？
3.損害賠償請求權：系爭產品是否落入系爭專利請求項4至6？被上訴人有無侵害系爭專利之故意過失？上訴人依專利法第96條第2項、第97條，民法第179條、第184條第1項前段、第185條第1項、第197條及公司法第23條第2項規定，向被上訴人請求連帶賠償1,000萬元，有無理由？
4.禁止侵害與銷毀請求權：上訴人依專利法第96條第1項、第3項規定，請求被上訴人不得直接或間接、自行或委託他人製造、為販賣之要約、販賣、使用或進口系爭產品及其他侵害系爭專利之產品，並應予回收、銷毀，有無理由？
(三)本院審理與論述順序：本院參諸當事人之主要爭點，首應分析系爭專利、系爭產品及有效性證據之技術內容，作為系爭專利是否有效與系爭產品有無侵害系爭專利之基礎；繼而探討系爭專利有無撤銷事由；最後判斷系爭產品是否落入請求項4、5、6之權利範圍，作為上訴人向被上訴人行使損害賠償、禁止侵害及銷毀請求權請求權，有無理由之論據。
二、判斷系爭專利之有效性：按當事人主張或抗辯智慧財產權有應撤銷、廢止之原因者，法院應就其主張或抗辯有無理由自為判斷，不適用民事訴訟法、行政訴訟法、專利法或其他法律有關停止訴訟程序之規定。前項情形，法院認有撤銷、廢止之原因時，智慧財產權人於該民事訴訟中不得對於他造主張權利，智慧財產案件審理法第16條定有明文。上訴人主張被上訴人之系爭產品，侵害其系爭專利云云。被上訴人抗辯稱除系爭專利請求項4至
6欠缺充分揭露要件外，組合被證5、6、7、9或被上證
1，均可證系爭專利不具進步性等語（參照本院整理當事人爭執事項1、2）。職是，系爭專利具有效性，厥為上訴人向被上訴人行使系爭專利權之前提要件，本院首應探究系爭專利是否合法有效。上訴人前於97年3月6日向經濟部智慧財產局（下稱智慧局）申請系爭專利，智慧局嗣於99年10月
1日公告，故系爭專利有無撤銷之原因，應以核准審定時即92年2月6日修正公布，93年7月1日施行之專利法（下稱系爭專利核准時專利法）為斷。
三、系爭專利、系爭產品及專利有效性證據技術分析：
(一)系爭專利技術分析：
1.系爭專利技術內容：一種保持光罩清潔與乾燥之方法及一種可充填氣體之光罩存放裝置(1)，用以存放至少一光罩(3)，其中光罩具有一圖案面(31)，圖案面設有一保護件(33)，其中存放裝置包含有：一第一蓋體(11)；一第二蓋體(12)，用以與第一蓋體組合，形成一內部空間可容納光罩，其中第二蓋體具有一中央部分(121)；至少一固定件(122)，設於第二蓋體上，用以支持並定位光罩；至少一入氣埠(21)，設於第二蓋體上，且設於光罩之投射區域(123)外；暨至少一出氣埠(22)，設於第二蓋體上，且以中央部分為中心之相對於入氣埠之另一側。從入氣埠進入之氣體從光罩上下表面通過，並帶走在光罩及吸附在保護件表面之溼氣，達到迅速降低光罩存放裝置內之溼度（參照系爭專利之摘要）。
2.系爭專利之功效：本發明在於提供一種光罩存放裝置，其主要目的如後：⑴當氣體經過其入氣埠進入存放裝置後會產生漣漪狀擴散；⑵當氣體經過其入氣埠進入存放裝置後，能充份將光罩表面之保護件與光罩間之溼氣帶走；⑶可將大量氣體經過其入氣埠進入存放裝置後，經過光罩保護件側置換保護件之髒氣與濕氣；⑷當氣體經過其入氣埠進入存放裝置後，少量氣體至光罩保護件之另外一側，置換光罩上之髒氣與濕氣；⑸具有接合件，當氣體經過其入氣埠進入存放裝置後，過多之氣體可從出氣埠或是可洩壓接合件間逸出，但是存放裝置中氣壓未超過一預先設定值時，接合件可保持該存放裝置之氣密性，並達到防塵之功效（參照系爭專利說明書第6頁第7至18行）。
3.系爭專利申請專利範圍：系爭專利核准公告之申請專利範圍共計9個請求項，其中請求項1、2、4、9為獨立項，其餘均為附屬項，系爭專利主要圖式，如附圖1所示。因上訴人僅主張系爭產品侵害系爭專利請求項4、5、6，故說明該等請求項內容如下：⑴請求項4為一種可充填氣體之光罩存放裝置，用以存放至少一光罩，其中光罩具有一圖案面，圖案面設有一保護件，其中存放裝置包含有：一第一蓋體；一第二蓋體，用以與第一蓋體組合，形成一內部空間可容納光罩；至少一固定件，設於第二蓋體上，用以支持並定位光罩；一第一接合件，固接於第一蓋體之周邊；一第二接合件，固設於第二蓋體，用以與該第一接合件接合，且與第一接合件接合之部分為懸空。⑵請求項5依據請求項4所述之可充填氣體之光罩存放裝置，其中第一蓋體具有一第一板件可第一接合件夾持。⑶請求項6依據請求項4所述之可充填氣體之光罩存放裝置，其中第二蓋體具有一第二板件可將第二接合件夾持。
(二)系爭產品技術內容：一種可充填氣體之光罩存放裝置，用以存放至少一光罩；有一第一蓋體與一第二蓋體，第二蓋體用以與第一蓋體組合，形成一內部空間可容納光罩；一固定件，設於第二蓋體，用以支持並定位光罩；一第一接合件，固接於第一蓋體之周邊及一第二接合件，固設於第二蓋體，用以與第一接合件接合，且與第一接合件接合之部分為懸空；第一蓋體具有一第一板件可將第一接合件夾持；第二蓋體具有一第二板件可將第二接合件夾持。系爭產品照片，如附圖2所示。
(三)專利有效性證據技術分析：
1.被證5之技術內容：被證5為2006年11月30日公開之美國第2006/0000000A1號「EnvironmentalcontrolinareticleSMIFpod」專利案。被證5之公開日早於系爭專利申請日2008年3月6日，可為系爭專利之先前技術。其技術內容為提供一標準機械介面罩幕晶圓盒，係用以提供支撐一罩幕之一受控環境，其中受控環境係實質維持不受晶粒生長所導致之污染物污染。準此，提供一具有過濾器元件之一層狀過濾器，過濾器元件可過濾微粒並吸附氣體污染物。過濾器具有一向內表面，通常為平坦外型，且具有一表面區域，實質為罩幕表面之面積一半或以上。向內表面係極接近罩幕圖案表面，且具有一區域，其佔罩幕圖案表面區域之顯著部分。標準機械介面盒更提供一淨化系統，注入一極乾燥氣體於受控環境中，不僅沖去受控環境中的汙染物，並使過濾器再生。被證5之主要圖式，如附圖3所示。
2.被證6之技術內容：被證6為2003年2月4日公告之美國第0000000B2號「SMIFcontainerincludinganelectrostaticdissipativereticlesupportstructure」專利案。被證6之公告日早於系爭專利申請日，可為系爭專利之先前技術。其技術內容是一個支撐結構，用於支撐光罩或矽晶片。所述支撐結構包括一個支撐柱與一個固定架。除固定晶圓外，亦建立一放電通道自晶圓中放出靜電，此支撐架在機械結構上與各支撐柱間接合，自晶圓處構成一個放電通道。具體而言，靜電沿著支撐結構自晶圓處消散到支撐柱，並藉由莢門自SMIF莢散逸。被證6之主要圖式，如附圖4所示。
3.被證7之技術內容：被證7為1997年3月18日公告之美國第0000000號「Sealab
letransportablecontainerhavingimprovedliner」專利案。被證7之公告日早於系爭專利申請日，可為系爭專利之先前技術。其技術內容為一種可運輸、可密封之容器。例如，標準機械介面盒或SMIF，包括一箱體與箱門。箱體有一個第一密封面，箱門具有第二密封面。襯裡附著在箱門之內表面。彈性密封材料一體成形於所述襯裡。當箱門在一個密封位置相對於所述盒體移動時，密封材料與所述第一密封面形成第一密封，並與所述第二密封面形成第二密封。被證7之主要圖式，如附圖5所示。
4.被證9之技術內容：被證9為2006年6月16日公開之我國第000000000號「密封轉移容器」專利案。被證9之公開日早於系爭專利申請日，可為系爭專利之先前技術。其技術內容為一種密封轉移容器，密封轉移容器為設置有底座，且底座表面覆蓋有具彈性變形能力之墊片，而底座上方為設置有上蓋，並於上蓋內設置有內襯，且內襯之周邊為凸設有抵持部，俾使上蓋罩覆於座體上時，內襯之抵持部會抵壓於墊片，使抵持部與墊片呈緊密結合之狀態，並利用抵持部與墊片之彈性變形能力，使其於結合後不會因墊片或是抵持部表面不平整而產生縫隙，使密封轉移容器具有良好之氣密性。被證9之主要圖式，如附圖6所示。
5.被上證1之技術內容：被上證1為ASYST公司2005年7月所產製販售之光罩盒實物，被上證1之製造日期為2005年7月，如附圖7所示，早於系爭專利申請日，且被上證1底座上、下方標有美國專利第0000000號及第0000000號，ASYST公司標示專利號於被上證1之專利產品，即必有告知社會大眾之意，倘其不欲銷售之產品，特別標示專利號則有違常情，由此可合理推斷被上證1確實已行銷於市場或可為社會大眾所得見，可為系爭專利之先前技術，上訴人對亦不予爭執。被上證1之技術內容揭露一種存放裝置，存放裝置包含有：一第一蓋體；一第二蓋體，用以與第一蓋體組合，形成一內部空間；至少一固定件，設於第二蓋體上；一第一接合件，固接於第一蓋體之周邊；暨一第二接合件，固設於第二蓋體，用以與第一接合件接合，且與第一接合件接合之部分為懸空。被上證1之照片，如附圖7所示。
四、專利有效性判斷：
(一)系爭專利請求項4至6未違反核准時專利法第26條第3項：按申請專利範圍應明確記載申請專利之發明，各請求項應以簡潔之方式記載，且必須為發明說明及圖式所支持，系爭專利核准時專利法第26條第3項定有明文。被上訴人雖抗辯稱系爭專利範圍究竟是包含光罩，或者是否必須設有一保護件於光罩之圖案面，均非可確定，有不明確之問題存在云云。惟查：
1.用以存放至少一光罩僅為附加說明：參諸系爭專利請求項4記載「一種可充填氣體之光罩存放裝置，用以存放至少一光罩，其中光罩具有一圖案面，圖案面設有一保護件，其中存放裝置包含有：」。可知請求項4之標的為「一種可充填氣體之光罩存放裝置」，而「用以存放至少一光罩」，僅是針對系爭專利之用途標的物之附加說明，其並非對於系爭專利發明之任一技術特徵作明確之界定。
2.所屬技術領域通常知識者瞭解保護件與存放裝置對應關係：圖案面之保護件並非附屬於習知光罩之必然結構，且依據系爭專利說明書第7頁第7至9行記載：其中光罩(3)具有一圖案面(31)，圖案面上設有保護件(33)，用以保護圖案面免於被雜質污染產生變化，並使填充之氣體藉由與保護件進行氣體之轉換後帶走其濕氣與髒污。可得知系爭專利之保護件對於置放於存放裝置之光罩能夠產生特定功效，且系爭專利藉由保護件與存放裝置之交互作用而產生功效，故「保護件」應視為系爭專利之必要技術特徵。因系爭專利請求項已敘明保護件係設於光罩之圖案面，所屬技術領域中具有通常知識者能夠瞭解保護件與該存放裝置之對應關係，故系爭專利請求項4之記載並無不明確之情事。準此，請求項4至6並未違反系爭專利核准時專利法第26條第3項規定，被上訴人上開之主張，不足採信。
(二)系爭專利請求項4至6未違反核准時專利法第26條第4項：
1.系爭專利請求項4有入氣埠之技術特徵：按發明說明、申請專利範圍及圖式之揭露方式，於本法施行細則定之。獨立項應敘明申請專利之標的及其實施之必要技術特徵。系爭專利核准時專利法第26條第4項與施行細則第18條第2項分別定有明文。被上訴人雖抗辯稱系爭專利請求項4至6未記載「入氣埠」或任何可供氣體導入存放裝置之構造等必要技術特徵云云。惟系爭專利說明書第5頁之先前技術記載：為充填氣體進入該等存放裝置，通常在存放裝置中會設有至少一個入氣埠，以與供氣裝置連接，將氣體導入存放裝置。足徵在存放裝置設有入氣埠為一般習知技術，系爭專利相對於先前技術其所欲解決之問題與入氣埠之設置與否無關，入氣埠之設置與否，並非系爭專利為解決問題所不可或缺的技術特徵，該所屬技術領域中具有通常知識者，由系爭專利請求項4所記載之標的「一種可充填氣體之光罩存放裝置」，並參酌系爭專利說明書之先前技術，可瞭解系爭專利之光罩存放裝置具有相當於入氣埠之結構，故系爭專利請求項4已實質隱含「入氣埠」技術特徵，並未欠缺實施之必要技術特徵。職是，被上訴人之上開主張，不足採信。
2.參酌系爭專利說明書能瞭解懸空結構所對應之功效：被上訴人固抗辯稱系爭專利請求項4至6未記載第一接合件與第二接合件可達到保持存放裝置氣密性之必要技術特徵；系爭專利請求項4至6並未記載第二接合件與第一接合件接合之部分為懸空，可達到洩壓功能之必要技術特徵云云。然系爭專利說明書第7頁第3段記載：其中重要是在第一蓋體與第二蓋體之周邊，分別固接第一接合件與第二接合件，該等接合件之材質可具有彈性，或者使第二接合件，而與第一接合件接合之部分保持懸空，故光罩存放裝置因接合件之彈性或懸空，可在光罩存放裝置內部空間氣體過多造成壓力過大時，氣體將可從接合件間洩出，內部空間可保持適當壓力以免避免光罩傷害；當氣壓未超過預先設定值時，接合件為氣密接合狀態，保持更佳之氣密性，達成防止氣體洩漏及防塵之效果。職是，可知第一接合件及第二接合件之一種實施例為使其接合部分保持懸空，在光罩存放裝置之內部空間氣體過多、造成壓力過大時，氣體可從懸空之接合部分洩出，而氣壓未過大時，第一接合件及第二接合件則保持氣密。參諸系爭專利請求項4記載：一第一接合件，固接於第一蓋體之周邊；暨一第二接合件，固設於第二蓋體，用以與第一接合件接合，且與第一接合件接合之部分為懸空。其已界定第一接合件及第二接合件之具體連結關係，並未欠缺任何必要元件，所屬技術領域中具有通常知識者，參酌系爭專利說明書後，能夠瞭解懸空結構所對應之功效。
3.系爭專利請求項4記載具備實施之必要技術特徵：至被上訴人抗辯稱：系爭專利請求項4未要求接合部分，環繞整個內部空間，亦未要求第一及第二接合件須具有彈性，如何可達到氣密或洩壓功效云云。惟系爭專利請求項4界定第一接合件及第二接合件之具體連結關係，而具有說明書中所欲達到之氣密或洩壓功效，該所屬技術領域中具有通常知識者，參酌系爭專利說明書後，可瞭解系爭專利請求項4之第一及第二接合件之接合部分，係環繞整個內部空間，且第一或第二接合件具有彈性者，始具有氣密或洩壓功效。職是，系爭專利請求項4記載之內容，未欠缺實施之必要技術特徵，未違反系爭專利核准時專利法第26條第4項與施行細則第18條第2項規定，被上訴人上開主張，不足為憑。
(三)被證7無法證明請求項4至6不具進步性：
1.被證7無法證明請求項4不具進步性：⑴系爭專利請求項4「一種可充填氣體之光罩存放裝置，用以
存放至少一光罩，其中光罩具有一圖案面，圖案面設有一保護件」。比較被證7圖式第2圖及說明書第6欄第16行記載：可密封且可運送之容器，包含一具有內部空間之箱及一箱門。說明書第6欄第61行記載：箱可包括一介於閥門與箱之內部空間之通道，在通道之一端為一過濾器，用以過濾通過之流體。職是，系爭專利請求項4「可充填氣體之光罩存放裝置」技術特徵，揭露於被證7「可密封且可運送之容器」技術內容，故系爭專利請求項4「一種可充填氣體之光罩存放裝置，用以存放至少一光罩」技術特徵，揭露於被證7之技術內容。
⑵系爭專利請求項4「其中存放裝置包含有：一第一蓋體；一
第二蓋體，用以與第一蓋體組合，形成一內部空間可容納光罩」技術特徵。比較被證7圖式第2圖及說明書第6欄第16行記載：可密封且可運送之容器，包含一具有內部空間之箱及一箱門」內容。準此，系爭專利請求項4「第一蓋體」、「第二蓋體」及「內部空間」技術特徵，揭露於被證7「箱」、「箱門」及「內部空間」技術內容，故系爭專利請求項
4「其中存放裝置包含有：一第一蓋體；一第二蓋體，用以與第一蓋體組合，形成一內部空間可容納光罩」技術特徵，揭露於被證7之技術內容。
⑶系爭專利請求項4「至少一固定件，設於第二蓋體上，用以
支持並定位光罩」技術特徵。比較被證7圖式第1B圖及說明書第6欄第12行記載：支撐件，譬如一用以支撐晶圓之卡匣之內容。職是，系爭專利請求項4「固定件」技術特徵揭露於被證7「支撐件14」技術內容，故系爭專利請求項4「至少一固定件，設於第二蓋體上，用以支持並定位光罩」技術特徵，揭露於被證7之技術內容。
⑷系爭專利請求項4「一第一接合件，固接於第一蓋體之周邊
」技術特徵。比較被證7圖式第13圖及說明書第10欄第65至67行記載：在箱與內墊間為第一密封材料，密封材料可呈現空心球狀之彈性體之內容。準此，系爭專利「第一接合件」及「第一蓋體」技術特徵，揭露於被證7「第一密封材料」及「蓋體」技術內容，故系爭專利「一第一接合件，固接於第一蓋體之周邊」技術特徵，揭露於被證7之技術內容。⑸系爭專利請求項4「以及一第二接合件，固設於第二蓋體，
用以與第一接合件接合，且第一接合件接合之部分為懸空」技術特徵。比較被證7圖式第13圖及說明書第10欄第65至32行記載：顯示密封材料與襯墊一體模造結合，且顯示密封材料之唇部與箱接觸。箱降低至以實線示出唇部之位置與唇部接觸。箱亦降低至使唇部偏轉至如虛線所示之位置，在點形成密封，以將容器內部空間與周遭環境隔絕之內容。職是，系爭專利請求項4「第二接合件」及「第二蓋體」技術特徵揭露於被證7「密封材料」及「箱門」技術內容，故系爭專利請求項4「以及一第二接合件，固設於第二蓋體」技術特徵，揭露於被證7之技術內容。
⑹綜上所述，系爭專利請求項4與被證7之差異，在於被證7
未揭露系爭專利請求項4「其中光罩具有一圖案面，圖案面設有一保護件」技術特徵。藉由該技術特徵，系爭專利請求項4具有保護圖案面免於被雜質污染產生變化，並使填充之氣體藉由與保護件進行氣體之轉換後帶走其濕氣與髒污等功效。再者，被證7未揭露系爭專利請求項4「第二接合件用以與第一接合件接合，且與第一接合件接合之部分為懸空」技術特徵。準此，系爭專利請求項4具有可以在光罩存放裝置內部空間氣體過多造成壓力過大時，將氣體從懸空接合部分洩出，內部空間可保持適當壓力以避免光罩傷害之功效。就技術手段及所產生之功效而言，系爭專利請求項4與被證7不同，被證7不足證明系爭專利請求項4不具進步性。
⑺被上訴人雖抗辯稱由系爭專利請求項4之附屬請求項7所界
定「第一接合件與第一蓋體可為一體成型」技術特徵，可知系爭專利請求項4第一接合件與第一蓋體之固接方式，包含一體成型之固接模式，其雖與被據7之第一接合件與箱為一體成成型稍有差異，然揭露系爭專利請求項4「一第一接合件，固接於第一蓋體之周邊」技術特徵云云。惟系爭專利請求項4界定「第一接合件，固接於第一蓋體之周邊」，無論是否為系爭專利請求項7所界定之一體成型之固接，其均具有第一接合件及第一蓋體二個構件，且第一接合件係用以與第二接合件接觸，藉由第一、第二接合件接合之部分形成懸空，進而達到在光罩存放裝置內部空間氣體過多造成壓力過大時，將氣體從懸空接合部分洩出，內部空間可保持適當壓力以避免光罩傷害之功效，而被證7說明書及圖式均未揭露箱由二個構件所構成，被證7之箱僅係單一構件對應於系爭專利請求項4之第一蓋體，其與系爭專利請求項4界定「第一接合件，固接於第一蓋體之周邊」技術特徵不同，足認被上訴人之上開主張，不足採信。
⑻被上訴人雖抗辯稱被證7已於第10欄第60行至第63行說明：
另一種選擇，彈簧得不環繞盒門之全周而係在有限之位置進行加壓，被證7揭露系爭專利請求項4之一第一接合件，固接於第一蓋體之周邊；一第二接合件，固設於第二蓋體，用以與第一接合件接合，且與第一接合件接合之部分為懸空云云。惟系爭專利請求項4界定「第二接合件，固設於第二蓋體，用以與第一接合件接合，且與第一接合件接合之部分為懸空」。可知系爭專利第一接合件與第二接合件之接合部分，為環繞光罩盒內部全周之懸空，其與被證7圖式第13圖配合說明書10欄第60行至第63行之第一密封材料與內墊之接合部分，為部分懸空及部分非懸空之技術內容不同，況系爭專利接合部分懸空之設計，為將氣體從該懸空接合部分洩出，使內部空間可保持適當壓力以避免光罩傷害，而被證7設置彈簧之目的係在於保持氣密，避免外界氣體進入，彈簧與內墊接觸越多，則氣密性越佳，兩者之設置目的不同，是被上訴人之主張，不足採信。
2.被證7不足證明系爭專利請求項5與6不具進步性：系爭專利請求項5、6為直接依附於請求項4之附屬項，應包含請求項4之所有技術特徵。被證7不足以證明系爭專利請求項4不具進步性，且系爭專利請求項5、6均包含請求項
4之所有技術特徵。職是，被證7不足以證明系爭專利請求項5、6不具進步性。
(四)被證7與9之組合無法證明請求項4至6不具進步性：
1.被證7與9之組合無法證明請求項4不具進步性：⑴被證7未揭露系爭專利請求項4「其中光罩具有一圖案面，
圖案面設有一保護件」及「第二接合件用以與第一接合件接合，且與第一接合件接合之部分為懸空」技術特徵，不足以證明系爭專利請求項4不具進步性。由被證9說明書第7頁未段記載：當廠商利用超短波長之195nm深紫外線光源來進行黃光微影製造時，請參閱第一圖所示，為193nm深紫外雷射光曝照示意圖㈠，由圖中可清楚看出，光罩A與光罩護膜
B於使用前均置放於密閉之儲存容器D內儲存之內容。職是，系爭專利請求項4「保護件」技術特徵對應於被證9「光罩護膜B」技術內容，被證9揭露系爭專利請求項4「其中光罩具有一圖案面，圖案面設有一保護件」技術特徵。
⑵被證7、9之組合未揭露系爭專利請求項4「第二接合件用
以與第一接合件接合，且與第一接合件接合之部分為懸空」技術特徵。藉由上述技術特徵，系爭專利請求項4具有可以在光罩存放裝置內部空間氣體過多造成壓力過大時，將氣體從懸空接合部份洩出，內部空間可保持適當壓力以避免光罩傷害之功效。準此，就技術手段及所產生之功效而言，系爭專利請求項4與被證7、9之組合不同，被證7、9之組合不足以證明系爭專利請求項4不具進步性。
2.組合被證7與9無法證明系爭專利請求項5與6不具進步性：系爭專利請求項5、6為直接依附於請求項4之附屬項，應包含請求項4之所有技術特徵。被證7、9之組合不足以證明系爭專利請求項4不具進步性，且系爭專利請求項5、
6均包含請求項4之所有技術特徵。職是，被證7、9之組合不足以證明系爭專利請求項5、6不具進步性。
(五)被證5與7之組合無法證明請求項4至6不具進步性：
1.被證5與7之組合無法證明請求項4不具進步性：被證7未揭露系爭專利請求項4「其中光罩具有一圖案面，圖案面設有一保護件」及「第二接合件用以與第一接合件接合，且與第一接合件接合之部分為懸空」技術特徵，不足以證明系爭專利請求項4不具進步性。被證5未揭露系爭專利請求項4「其中光罩具有一圖案面，圖案面設有一保護件」技術特徵。藉由該技術特徵，系爭專利具有保護圖案面免於被雜質污染產生變化，並使填充之氣體藉由與保護件進行氣體之轉換後帶走其濕氣與髒污等功效。再者，被證5未揭露系爭專利請求項4「第二接合件用以與第一接合件接合，且與第一接合件接合之部分為懸空」技術特徵。藉由該技術特徵，系爭專利請求項4具有可在光罩存放裝置內部空間氣體過多造成壓力過大時，將氣體從懸空接合部分洩出，內部空間可保持適當壓力以避免光罩傷害之功效。職是，就技術手段及所產生的功效而言，系爭專利請求項4與被證5、7之組合不同，被證5、7之組合，不足以證明系爭專利請求項4不具進步性。
2.組合被證5與7無法證明系爭專利請求項5與6不具進步性：系爭專利請求項5、6為直接依附於請求項4之附屬項，應包含請求項4之所有技術特徵。被證5、7之組合不足以證明系爭專利請求項4不具進步性，且系爭專利請求項5、6均包含請求項4之所有技術特徵。準此，被證5、7之組合不足以證明系爭專利請求項5、6不具進步性。
(六)被證5至7之組合無法證明請求項4至6不具進步性：
1.被證5至7之組合無法證明請求項4不具進步性：⑴被證5、7之組合未揭露系爭專利請求項4「其中光罩具有
一圖案面，圖案面設有一保護件」及「第二接合件用以與第一接合件接合，且與第一接合件接合之部分為懸空」技術特徵，不足以證明系爭專利請求項4不具進步性。由被證6說明書第1欄第49至51行記載：為保持光罩表面之潔淨，一種稱為薄膜之薄透明片，安裝在光罩包含有圖案表面之一段距離之內容。職是，系爭專利請求項4「保護件」技術特徵係對應於被證6「薄透明片」技術內容，故系爭專利請求項4「其中光罩具有一圖案面，圖案面設有一保護件」技術特徵，揭露於被證6之技術內容。
⑵被證5、6、7之組合未揭露系爭專利請求項4「第二接合
件用以與該第一接合件接合，且與第一接合件接合之部分為懸空」技術特徵。藉由該技術特徵，系爭專利請求項4具有可在光罩存放裝置內部空間氣體過多造成壓力過大時，將氣體從懸空接合部分洩出，內部空間可保持適當壓力以避免光罩傷害之功效。準此，就技術手段及所產生的功效而言，系爭專利請求項4與被證5、6、7之組合不同，被證5、6、7之組合，不足以證明系爭專利請求項4不具進步性。
2.組合被證5至7無法證明系爭專利請求項5與6不具進步性：系爭專利請求項5、6為直接依附於請求項4之附屬項，應包含請求項4之所有技術特徵。被證5、6、7之組合不足以證明系爭專利請求項4不具進步性，且系爭專利請求項5、6均包含請求項4之所有技術特徵，被證5、6、7之組合，不足以證明系爭專利請求項5、6不具進步性。
(七)被證9與被上證1之組合無法證明請求項4至6不具進步性：
1.組合被證9與被上證1無法證明請求項4不具進步性：⑴系爭專利請求項4「一種可充填氣體之光罩存放裝置，用以
存放至少一光罩，其中光罩具有一圖案面，圖案面設有一保護件」技術特徵。比較被證9圖式第1、7圖及說明書第7頁未段記載：當廠商利用超短波長之195nm深紫外線光源來進行黃光微影製造時，請參閱第一圖所示，係為193nm深紫外雷射光曝照示意圖㈠，由圖中可知，光罩A與光罩護膜B於使用前均置放於密閉之儲存容器D內儲存之內容。職是，系爭專利請求項4「可充填氣體之光罩存放裝置」、「光罩」及「保護件」技術特徵揭露於被證9「密封轉移容器」、「光罩A」及「光罩護膜B」技術內容，故系爭專利請求項
4「一種可充填氣體之光罩存放裝置，用以存放至少一光罩，其中光罩具有一圖案面，圖案面設有一保護件」技術特徵，揭露於被證9之技術內容。
⑵系爭專利請求項4「其中該存放裝置包含有：一第一蓋體；
一第二蓋體，用以與第一蓋體組合，形成一內部空間可容納光罩」技術特徵。比較被證9圖式第7圖及說明書第14頁第11至15行記載：參閱第七圖所示，本發明係設置有底座、墊片、壓合片、上蓋及密封件；其中底座之表面為設置有複數支撐座、充氣座孔及鎖孔，且支撐座為可供光罩或晶圓置放之內容。準此，系爭專利請求項4「第一蓋體」及「第二蓋體」技術特徵，揭露於被證9「上蓋」及「底座」技術內容，故系爭專利請求項4「其中存放裝置包含有：一第一蓋體；一第二蓋體，用以與第一蓋體組合，形成一內部空間可容納光罩」技術特徵，揭露於被證9之技術內容。
⑶系爭專利請求項4「至少一固定件，設於第二蓋體上，用以
支持並定位該光罩」技術特徵。比較被證9圖式第7圖及說明書第14頁第14至15行記載：底座之表面為設置有複數支撐座、充氣座孔2及鎖孔，且支撐座為可供光罩或晶圓置放之之內容。職是，系爭專利請求項4「固定件」技術特徵，揭露於被證7「支撐座」技術內容，故系爭專利請求項4「至少一固定件，設於第二蓋體上，用以支持並定位光罩」技術特徵，揭露於被證9之技術內容。
⑷系爭專利請求項4「一第一接合件，固接於第一蓋體之周邊
；一第二接合件，固設於第二蓋體，用以與第一接合件接合，且與第一接合件接合之部分為懸空」技術特徵。比較被證
9第7圖、第11圖及說明書第15頁倒數第4行至第16頁第6行記載：當上蓋設置之蓋體罩覆於底座上時，內襯所設置之抵持部為會抵持於墊片，使底座與內襯間形成一密閉空間，且因墊片與內襯均具有彈性變形之能力，當墊片或抵持部表面有不平整之狀況發生時，墊片與抵持部為會因盒子四周大面積分佈，各部分受到不同之壓力，使其形狀自動調整而可相互緊密之配合，使底座與內襯所形成之密閉空間有著極佳之氣密性，以防止外界空氣進入到密閉空間內，使密閉空間內所儲存之光罩或晶圓得到更好的保護之內容。準此，系爭專利「第一接合件」、「第一蓋體」、「第二接合件」及「第二接合件」技術特徵，係對應於被證9「內襯」、「蓋體」、「墊片」及「底座」技術內容，故系爭專利請求項4「一第一接合件，固接於第一蓋體之周邊；一第二接合件，固設於第二蓋體，用以與第一接合件接合」技術特徵，揭露於被證9之技術內容。
⑸綜上所述，被證9未揭露系爭專利請求項4「第二接合件與
第一接合件接合之部分為懸空」技術特徵。被上證1之光罩盒實物之第二接合件週邊雖呈翹起狀，第一蓋體與第二蓋體組合時，第一接合件與第二接合件接觸，接觸部分應為懸空，懸空部分是否係因第二接合件之變形所致，尚無從判斷。惟從被上證1光罩盒實物上所記載之美國專利號第0000000號圖式第6、8圖可知，第一蓋體與第二蓋體組合時，第一接合件與第二接合件接觸部分並非懸空，故被上證1參酌美國專利號第0000000號後，難謂揭露系爭專利請求項4「第二接合件與第一接合件接合之部分為懸空」技術特徵。
⑹縱使被上證1之光罩盒實物之第二接合件週邊翹起並非變形
所致，而揭露系爭專利請求項4「第二接合件與第一接合件接合之部分為懸空」技術特徵。惟被上證1光罩盒之第二蓋體上並未設置任何入氣孔結構，懸空接合部分不具有可在光罩存放裝置內部空間氣體過多造成壓力過大時，將氣體從懸空接觸部洩出，內部空間可保持適當壓力以避免光罩傷害之功效，其與系爭專利請求項4利用懸空接合部分，以達到在光罩存放裝置內部空間氣體過多造成壓力過大時，將氣體從懸空接觸部洩出，內部空間可保持適當壓力以避免光罩傷害之功效並不相同，兩者在所欲解決的問題及所產生之功效方面均不同，且被證9或被上證1亦無任何教示或建議，該發明所屬技術領域中具有通常知識者，自無動機將被上證1懸空接合部結構應用在被證9所揭露之密封轉移容器中，而達成系爭專利請求項4之發明，故被證9、被上證1之組合不足以證明系爭專利請求項4不具進步性。
2.組合被證9與被上證1無法證明請求項5至6不具進步性：系爭專利請求項5、6為直接依附於請求項4之附屬項，應包含請求項4之所有技術特徵。被證9、被上證1之組合不足以證明系爭專利請求項4不具進步性，且系爭專利請求項
5、6均包含請求項4之所有技術特徵，被證9、被上證1之組合，不足以證明系爭專利請求項5、6不具進步性。
(八)組合被證6、9、被上證1無法證明請求項4至6不具進步性：
1.組合被證6、9與被上證1無法證明請求項4不具進步性：被證9、被上證1之組合，不足以證明系爭專利請求項4不具進步性，被證6雖揭露「薄透明片」技術內容，惟被證9、6、被上證1之組合未揭露系爭專利請求項4「第二接合件與第一接合件接合之部份係為懸空」技術特徵。再者，被證6所揭露之技術內容，亦無法促使該發明所屬技術領域中具有通常知識者，具有合理之動機將被上證1懸空接合部結構應用在被證9所揭露之密封轉移容器中，而達成系爭專利請求項4之發明。職是，被證9、6、被上證1之組合不足以證明系爭專利請求項4不具進步性。
2.組合被證6、9與被上證1無法證明請求項5至6不具進步性：系爭專利請求項5、6為直接依附於請求項4之附屬項，應包含請求項4之所有技術特徵。被證9、6、被上證1之組合不足以證明系爭專利請求項4不具進步性，且系爭專利請求項5、6均包含請求項4之所有技術特徵。準此，被證9、6、被上證1之組合亦不足以證明系爭專利請求項5、6不具進步性。
五、系爭產品未落入系爭專利請求項4至6之專利權範圍：判斷系爭產品是否落入系爭專利請求項4至6之專利權範圍，本院先解析系爭專利請求項4至6之技術特徵與系爭產品之技術內容，作為比對分析之基礎；繼而依據全要件原則與均等論原則進行比對與分析，以認定系爭產品是否落入系爭專利請求項4至6之專利權範圍（參照本院整理當事人爭執事項3）。
(一)系爭產品與系爭專利請求項4之侵權比對分析：
1.系爭專利請求項4之要件解析：解析系爭專利請求項4之要件，如附表1所示：⑴要件編號4A：一種可充填氣體之光罩存放裝置，用以存放至少一光罩，其中光罩具有一圖案面，圖案面設有一保護件。⑵要件編號4B：其中存放裝置包含有：一第一蓋體；一第二蓋體，用以該第一蓋體組合，形成一內部空間可容納光罩。⑶要件編號4C：至少一固定件，設於第二蓋體上，用以支持並定位該光罩。⑷要件編號4D：一第一接合件，固接於第一蓋體之周邊。⑸要件編號4E：以及一第二接合件，固設於第二蓋體，用以該第一接合件接合，且與第一接合件接合之部分為懸空。
2.系爭產品與系爭專利請求項4之各特徵要件之文義比對：本院應用全要件原則，進行系爭產品，是否具有系爭產品與系爭專利請求項4之每一個構成要件，倘其技術內容相同時，即完全落入申請專利範圍之字義範圍內，構成初步之專利侵權。反之，系爭專利請求項4有一項以上之技術特徵，為系爭產品所缺少者，則不符合全要件原則。茲比對系爭產品與系爭專利請求項4之各特徵要件之文義，如附表1所示：
⑴要件編號4a：依據被上訴人105年6月21日提出之系爭產品
實物，其為一種可充填氣體之光罩存放裝置，用以存放至少一光罩，雖完全對應於系爭專利。惟系爭產品未見光罩之保護件，亦未要求放置之光罩必須於圖案面設有保護件，其與系爭專利光罩圖案面設有一保護件之技術特徵並不相同。準此，系爭產品未為系爭專利要件4A「一種可充填氣體之光罩存放裝置，用以存放至少一光罩，其中光罩具有一圖案面，圖案面設有一保護件」文義所讀取。
⑵要件編號4b：系爭產品具有一第一蓋體與一第二蓋體，第二
蓋體用以與第一蓋體組合，形成一內部空間可容納光罩，完全對應於系爭專利。職是，系爭產品為系爭專利要件4B「其中存放裝置包含有：一第一蓋體；一第二蓋體，用以與第一蓋體組合，形成一內部空間可容納光罩」文義所讀取。
⑶要件編號4c：系爭產品具有一固定件，設於第二蓋體上，用
以支持並定位光罩，完全對應於系爭專利。準此，系爭產品為系爭專利要件4C「至少一固定件，設於第二蓋體上，用以支持並定位光罩」文義所讀取。
⑷要件編號4d：系爭產品具有一第一接合件，固接於第一蓋體
之周邊，完全對應於系爭專利。職是，系爭產品為系爭專利要件4D「一第一接合件，固接於第一蓋體之周邊」文義所讀取。
⑸要件編號4e：系爭產品具有一第二接合件，固設於第二蓋體
，用以與第一接合件接合，且與第一接合件接合之部分為懸空，完全對應於系爭專利。準此，系爭產品為系爭專利要件4E「以及一第二接合件，固設於第二蓋體，用以與第一接合件接合，且與第一接合件接合之部分為懸空」文義所讀取。①被上訴人雖抗辯稱接合之部分為懸空，係指第一接合件與第
二接合件之接合部分不接觸第一蓋體及第二蓋體云云。然系爭專利請求項4界定「一第一接合件，固接於第一蓋體之周邊；以及一第二接合件，固設於第二蓋體，用以與第一接合件接合，且與第一接合件接合之部分為懸空」，其中第一接合件僅界定「固接於第一蓋體之周邊」，並無限定「接合部分係懸空」，而第二接合件始有限定「與第一接合件接合之部分為懸空」。準此，「接合之部份係懸空」係指「第一接合件與第二接合件之接合部分不接觸第二蓋體」懸空狀態，且接合之部分不接觸第二蓋體之懸空狀態，即可達成系爭專利說明書所稱，可在光罩存放裝置內部空間氣體過多造成壓力過大時，將氣體從懸空接合部分洩出，內部空間可保持適當壓力以避免光罩傷害；當氣壓未超過預先設定值時，該接合件為氣密接合狀態，保持更佳之氣密性，達成防止氣體洩漏及防塵之功效。職是，被上訴人之主張，不足採信。
②被上訴人固抗辯稱系爭產品之第一接合件緊貼於第一蓋體，
並未如系爭專利說明書所述末端與第一蓋體保有一段距離，故第一接合件與第二接合件之接合處，並非懸空云云。惟系爭專利請求項4界定「第一接合件，固接於第一蓋體之周邊」，系爭專利請求項4並未界定第一接合件與第一蓋體保有一段距離。職是，系爭產品在第一蓋體周邊設置第一接合件之技術內容與系爭專利請求項4「一第一接合件，固接於第一蓋體之周邊」相同，為系爭專利請求項4「一第一接合件，固接於第一蓋體之周邊」文義所讀取。
③第一接合件與第二接合件接合處是否懸空部分，係指「第一
接合件與第二接合件之接合分份不接觸第二蓋體」懸空狀態。由於系爭產品第二蓋體設有第二接合件，第二接合件週邊呈翹起狀，第一接合件係接合於翹起部分，當第一蓋體與第一蓋體組合在一起時，可發現第二蓋體之底部略微凸出於第一蓋體之底部，倘施以一些許外力，可感受第一蓋體向下位移，因第一、第二蓋體為硬塑膠件，而第一接合件牢固設置於第一蓋體內部，第一、第二蓋體及第一接合件不致因外力而產生變形，位移應為第二接合件翹起部分受外力之壓迫而向下移動所產生，益徵第一接合件與第二接合件接合處應為懸空。
⑹綜上所述，系爭產品未為系爭專利請求項4要件編號4A之文
義所讀取，基於全要件原則，系爭產品未落入系爭專利請求項4之文義範圍。準此，系爭產品未為系爭專利請求項4要件編號4A之文義所讀取，本院繼而判斷系爭產品是否落入系爭專利請求項4要件編號4A之均等範圍。
3.系爭產品與系爭專利請求項4要件編號4A之均等比對：本院運用手段、功能及結果之三部分析法，判斷系爭產品是否落入系爭專利請求項4要件編號4A之均等範圍。職是，分析系爭專利請求項4至6之技術特徵與系爭產品之對應元件、成分、步驟或其結合關係，是否具有實質相似性，而落入均等範圍，如附表2所示。
⑴就手段而言，系爭專利要求放置之光罩於圖案面設有保護件
；而系爭產品未見對應之手段，其與系爭專利不同。準此，系爭產品要件4a與系爭專利請求項4要件編號4A之手段，兩者不相同。
⑵就功能而言，系爭專利之保護件功能為保護光罩之圖案面，
並使填充之氣體與保護件進行氣體之轉換；而系爭產品並無對應之功能。職是，系爭產品要件4a與系爭專利請求項4要件編號4A之功能，兩者不相同。
⑶就結果而言，系爭專利設置保護件之結果為使光罩之圖案面
免於雜質汙染產生變化，並使氣體帶走光罩之濕氣與髒污；而系爭產品並無對應之結果。準此，系爭產品要件4a與系爭專利請求項4要件編號4A之結果，兩者不相同。
⑷綜上所述，系爭產品編號4a與系爭專利要件編號4A之技術內
容，所應用之技術手段與可達到之功能、結果均不相同，故系爭產品要件編號4a未落入系爭專利請求項4要件編號4A之均等範圍。準此，系爭產品未落入系爭專利請求項4之均等範圍，其必然亦未落入依附於請求項4之請求項5、6之均等範圍。
(二)本件無函詢台積電公司或半導體廠之必要性：
1.保護件為系爭專利之必要技術特徵應列入侵權比對：上訴人雖主張系爭專利請求項4「其中光罩具有一圖案面，圖案面設有一保護件」技術特徵，系爭產品用於半導體廠，半導體廠所使用之光罩均具有一圖案面，圖案面設有一保護件，其有必要函詢台積電公司或半導體廠即可查明云云。然系爭專利請求項4「光罩具有一圖案面，圖案面設有一保護件」，雖為系爭專利針對用途標的物之附加說明，且業界使用之光罩均具有一圖案面，然圖案面之保護件並非附屬於習知光罩之必然結構。參諸系爭專利說明書第7頁第7至9行記載：其中光罩具有一圖案面，圖案面上設有保護件，用以保護圖案面免於被雜質污染產生變化，並使填充之氣體藉由與保護件進行氣體之轉換後帶走其濕氣與髒污。可知系爭專利之保護件對於置放於存放裝置之光罩能夠產生特定功效，且系爭專利藉由保護件與存放裝置之交互作用而產生功效，即存放裝置填充之氣體與保護件進行氣體之轉換。職是，保護件應視為系爭專利之必要技術特徵，應於侵權比對時，應納入要件作為比對基礎，故上訴人之主張不足採信。
2.上訴人無法證明被上訴人有製造保護件：上訴人固主張半導體廠所使用之光罩均具有一圖案面，圖案面應設有一保護件云云。惟專利侵權比對之標的，係以系爭專利之請求項與系爭產品進行比對，判斷系爭專利之請求項之每一項技術特徵，是否均出現或存在於系爭產品，基於全要件與均等論之比對原則，上訴人應負責舉證被上訴人所生產製造之系爭產品有包含光罩及保護件，始能證明基於全要件原則與均等論原則，認定系爭產品落入系爭專利請求項4之專利權範圍，而半導體廠使用之光罩不論有無保護件，倘無法證明是被上訴人為製造者，則與被上訴人製造之系爭產品無關，並非系爭產品侵權比對之要件。準此，上訴人之主張不足採信。
六、本判決結論：綜上所述，系爭產品未落入請求項4、5、6之權利範圍；且被證7或被證7、9之組合或被證5、7之組合或被證5、6、7之組合或被證9、被上證1之組合或被證9、6、被上證1之組合不足以證明系爭專利請求項4至6不具進步性。準此，上訴人雖主張系爭產品落入系爭專利請求項4至6，其依專利法第96條第2項、第97條，民法第179條、第18
4條第1項前段、第185條第1項、第197條及公司法第23條第2項規定，向被上訴人請求連帶賠償1,000萬元；暨依專利法第96條第1項、第3項規定，請求被上訴人不得直接或間接、自行或委託他人製造、為販賣之要約、販賣、使用或進口系爭產品及其他侵害系爭專利之產品，並應予回收、銷毀，然均屬無據，應予駁回。原審為上訴人敗訴判決，核無不合。職是，上訴意旨指摘原判決不當，求予廢棄改判，為無理由，應駁回其上訴。
七、本院無庸審究之說明：保護件為系爭專利之必要技術特徵，應例入侵權比對之要件，因上訴人無法證明被上訴人系爭產品有保護件，是本院無函詢台積電公司或半導體廠，有關半導體廠所使用之光罩，是否均具有一圖案面，圖案面設有一保護件之必要性。準此，本件為判決之基礎已臻明確，參諸兩造其餘爭點、陳述及所提之其他證據，經本院斟酌後，認為均於判決之結果不生影響，自毋庸逐一論述，併此敘明。
據上論結，本件上訴為無理由，依智慧財產案件審理法第1條，民事訴訟法第449條第1項、第78條，判決如主文。
中華民國106年6月22日
智慧財產法院第一庭
審判長法官陳忠行
法官曾啟謀法官林洲富以上正本係照原本作成。
如不服本判決，應於收受送達後20日內向本院提出上訴書狀，其未表明上訴理由者，應於提出上訴後20日內向本院補提理由書狀
(均須按他造當事人之人數附繕本)，上訴時應提出委任律師或具有律師資格之人之委任狀；委任有律師資格者，應另附具律師資格證書及釋明委任人與受任人有民事訴訟法第466條之1第1項但書或第2項(詳附註)所定關係之釋明文書影本。如委任律師提起上訴者，應一併繳納上訴審裁判費。
中華民國106年6月22日
書記官蔡文揚附註：
民事訴訟法第466條之1(第1項、第2項)對於第二審判決上訴，上訴人應委任律師為訴訟代理人。但上訴人或其法定代理人具有律師資格者，不在此限。
上訴人之配偶、三親等內之血親、二親等內之姻親，或上訴人為法人、中央或地方機關時，其所屬專任人員具有律師資格並經法院認為適當者，亦得為第三審訴訟代理人。